中古 NIKON NRM2 #9148415 を販売中

NIKON NRM2は、ウェーハ欠陥を迅速、正確、確実に検出するために設計されたマスクおよびウェーハ検査システムです。高度なイメージング技術と自動光学検査およびリソグラフィ検査を組み合わせ、オペレータはウェーハ形状、地形、平坦度などの機能を評価できます。NRM2は、1インチあたり4,000ピクセル以上の解像度を実現する高倍率光学を搭載しています。3Dレーザースキャニングシステムを内蔵し、粒子、傷、ピットなどの不具合の検出を最適化します。精度の向上と高度な画像補正機能により、ルーチン解析時でも小粒などのマイクロレベルの欠陥を検出できます。NIKON NRM2は、欠陥のないウェーハを確実にパターン認識することも可能です。自動ズーム機能、自動計測解析、計算リソグラフィ測定ツールなど、欠陥認識アルゴリズムの改善など、幅広い機能を提供しています。最高級の欠陥を検出するための超高解像度イメージングと同様に、自動欠陥検出もサポートされています。高度なオートメーション機能により、NRM2のユーザビリティとパフォーマンスも向上します。パワフルで直感的なユーザーインターフェイスにより、操作が簡素化され、迅速化されます。合理的なワークフロー管理技術を活用して、ユーザーは完全な制御と精度で検査プロセスを導かれます。NIKON NRM2は、自動検査に加え、ナノメートルレベルで欠陥を検出、分類、検索できる高度な画像操作システムを搭載しています。このハイレベル機能は、ボトムパターンの評価から層ごとのウェーハ検査まで、アプリケーション固有の欠陥検出機能を幅広くサポートします。NRM2の高度なイメージング技術と自動検査の組み合わせにより、物理的特性に基づいてウェーハを検出および評価するための強力で効率的なツールとなります。