中古 NIKON NRM-3100 #9401531 を販売中

NIKON NRM-3100は、優れた精度で欠陥を検出するために設計された高精度のマスクおよびウェーハ検査装置です。高感度で高解像度のミニリソグラフィーシステムを搭載し、ナノメートルレベルの欠陥を解消します。このユニットは、50nmの解像度、4,500：1のナノ露出過多検出ダイナミズム、および最大4,500ウェーハ/時間の高いスループットを誇っています。NRM-3100は、レチクル検査とウェーハ検査の両方に使用でき、その拡張可能なプラットフォームは、同じデバイス上の小型と大型の両方のパターンの検出を可能にします。NIKON NRM-3100は、マスク・ウエハ検査工程を高速化し、完成までの時間を最小限に抑える自動運転機（AOS）を内蔵しています。パターン認識、欠陥認識、解析を自動化し、数分で包括的な検査結果を得るように設計されています。パターン、値、欠陥の高精度、高速自動測定により、ユーザーはあらゆる問題をすばやく特定して修復することができます。NRM-3100の高度な光学ツールは、オートフォーカス画像取得アセットとプログラマブル電動ステージを使用して、検査プロセス全体の精度と速度を優れた制御を提供します。このモデルの優れた視野は、オペレータにウェーハ間の差異を決定する際の最適化された経験を提供するように設計されています。また、NIKON NRM-3100は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、機器とのユーザーインタラクションを合理化します。このユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、オペレータはシステム設定を迅速かつ簡単に表示および変更することができ、迅速なターンアラウンドパフォーマンス時間を可能にします。さらに、ニコン非接触静的欠陥測定モジュールを搭載した唯一のユニットであり、ウェハエッジからの静的欠陥を正確に測定および記録します。全体的に、NIKON NRM-3100は、詳細な結果を提供することができる高度なマスクとウェーハ検査機です。ハイエンドのミニリソグラフィーツールを搭載し、最小の欠陥を検出するための高解像度検査を提供し、自動化された作業をサポートして作業を迅速に完了させます。さらに、便利なグラフィカルユーザーインターフェイスと静的欠陥測定モジュールにより、NRM-3100は正確で信頼性が高く、費用対効果の高いウェハ検査に最適です。