中古 NIKON NRM-3100 #9386878 を販売中

NIKON NRM-3100は、経済的な高解像度表面検査用に設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。反射光学系の設計と強力な光学系とカメラオプションを組み合わせることで、NRM-3100は12インチまでの広い視野で高解像度のイメージングを実現します。このユニットは、マスクやウェーハの生産で一般的に遭遇するさまざまな重要な地形特性と、人間の目には見えない詳細な欠陥を検査することができます。NIKON NRM-3100は、大型サンプルの正確なイメージングを容易にするための高度な光学系と電動ステージを備えています。光学機械は放射状の腕によって調節可能なz軸の段階に取付けられる広帯域照明の源、レンズおよび高解像度のカメラから成っています。ラジアルアームにより、光学ツールと標本との容易な調整とアライメントが可能です。さらに、自動焦点メカニズムにより、測定セットアップ時間が短縮され、検査のあらゆる段階で最高の解像度のイメージングが保証されます。NRM-3100は、明るいフィールド、暗いフィールド、およびKoehler照明技術と各技術のLEDおよび回折格子照明源を組み合わせることにより、ウェーハおよびマスク検査に対する汎用性の高い画像キャプチャアプローチを提供します。この照明源の組み合わせにより、信号とノイズの比率が向上し、最も困難な欠陥をより正確に検出することができます。さらに、複数の波長技術により、物理フィルタを必要とせずに高感度でさまざまな欠陥タイプを測定できます。また、高度なノゾーンオプティクスとマルチショットイメージングにより、各検査現場の正確な深度測定が保証され、サンプル上の浮き上がった欠陥の特徴を正確に特定して特定できます。NIKON NRM-3100には、独自のデュアルビューオプティクスモデルも搭載されており、誤報をフィルタリングするために、同じ検査現場の複数の画像を2つの異なる角度から撮影することができます。NRM-3100は、検査結果を分析するための強力で柔軟な検査ソフトウェアパッケージを利用しています。この高度なソフトウェアにより、マスクおよびウェハエンジニアは潜在的な欠陥を迅速かつ正確に識別することができ、正確な欠陥カウントを保証する欠陥を分類するための幅広いフィルタリングオプションを提供します。結論として、NIKON NRM-3100は強力で費用対効果の高いマスク&ウェーハ検査装置であり、高精度で信頼性の高い大型サンプルの高解像度イメージングを可能にします。最先端の光学技術とイメージング技術を組み合わせることで、試料検査でも最高品質の検査をNRM-3100ます。