中古 NIKON AMI-3300 #293670595 を販売中

NIKON AMI-3300は、高速で高解像度の検査を提供する完全自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置です。400mmテレセントリック対物レンズと16ビットCCDカメラを搭載したAMI-3300は、マスクやウェーハ表面の精密な検査を可能にする高解像度イメージングを提供します。システムの調整可能な倍率、作業距離、視野は、レチクル、マスク、マイクロストラクチャー、ウェーハなどの幅広いサンプルを迅速かつ正確に検査する機能を提供します。NIKON AMI-3300は、クローズドループ、高分解能ナノメートルレベルの位置決めと再現性を備えた500mm X-Yステージで完全なサンプルカバレッジを提供します。さらに、AMI-3300には自動フォーカスサブステージが装備されており、さまざまなサンプルに合わせて作業距離と視野を迅速かつ正確に変更できます。NIKON AMI-3300のソフトウェアは、最適なフォーカスキャプチャのための焦点位置を測定しながら、マスクまたはウェーハに必要なすべての焦点調整を自動的に実行します。AMI-3300には、幅広い欠陥を検出、分類、定量する機能を提供する統合欠陥測定ユニットが含まれています。機械の自動エッジ検出、カラーベースのエッジ検出、パターン認識技術は、ラインエッジ、ライン幅、ラインピッチ、平坦度、オーバーレイ精度、プロセスのずれ、漏れ、オーバーレイなどの欠陥を検出するために使用されます。さらに、このツールの自動エッジ補正機能を使用して、リソグラフィーポキシングによるエッジのステップ残量を検出し、デバイスのスケーリングに必要な正確で正確なエッジのシャープネスを生成します。NIKON AMI-3300は、直感的なユーザーインターフェイスとソフトウェアを備えており、アセットの簡単なセットアップと操作を可能にします。大型の21。3 インチLCDカラーモニターは、モデルのメニューと操作をすばやくナビゲートでき、USBポートとネットワークポートは外部ストレージデバイスをすばやく簡単に接続できます。この機器には、ユーザーが後で使用するために測定ジョブを計画して保存できる自動ジョブ実行機能とスケジュールされたジョブ実行機能も含まれています。全体的AMI-3300は、高解像度のマスクおよびウェーハ検査システムで、堅牢で信頼性の高い検査機能を提供します。調整可能な倍率、フォーカスサブステージ、大型X-Yステージ、自動化された欠陥測定機能を備えたNIKON AMI-3300は、正確なマスクおよびウェーハ検査のための強力なソリューションです。