中古 NIKON AMI-3000 #293591735 を販売中

ID: 293591735
ウェーハサイズ: 12"
Macro inspection system, 12".
NIKON AMI-3000は、高い精度と再現性を提供するマスクおよびウェーハ検査装置です。高感度で色感度の高いイメージセンサーと、革新的な光源と高精度の光学センサーを組み合わせたユニークなアーキテクチャを備えています。システムのイメージセンサは、印刷されたマスクやウェーハのピクセルレベルの画像をキャプチャするカスタムデザインのCMOSです。この統合されたモジュラーイメージングユニットは、非常に低い光レベルでも優れたダイナミックレンジと信号対ノイズ比を提供します。AMI-3000にはオートフォーカストラッキング(AFT)機能が搭載されており、画像が常にピントを合わせることができます。AFTアルゴリズムは、ユーザーの介入なしに自動的にフォーカスを調整します。これにより、さまざまな環境で効率的かつ正確な検査と測定が可能になります。NIKON AMI-3000の中心には、LIMSS (Light Intensity Modulated Laser Scanning Machine)があります。この高度なレーザースキャニングツールは、卓越した精度と再現性を備えた非常に詳細な画像を生成することができます。LIMSSは、高度なビーム移動アセットを使用して、精密にチューニングされたレーザースポットを検査表面上に移動させ、表面上のすべてのポイントが迅速にスキャンされるようにします。さらに、LIMSSには、関心のある領域を分離し、さらなる検査のためにそれらを拡大するための高度なビーム集中技術が含まれています。AMI-3000には、ウエハ検査を強化するための独自の空間分解能強化(PSRE)、印刷マスク検査を改善するためのテクスチャ強化、高い反射率の表面のコントラストと視認性を向上させるためのサイドイルミネーション適応など、いくつかの補足機能も含まれています。最先端の技術に加えて、NIKON AMI-3000はグラフィカルユーザーインターフェイスを利用したユーザーフレンドリーなソフトウェアも備えています。直感的なインターフェイスにより、ユーザーはモデルを素早く簡単に設定し、その機能をナビゲートできます。ソフトウェアは、検査プロセスで識別された欠陥を詳細に自動検査レポートを備えています。AMI-3000は半導体産業の要求の厳しいニーズを満たすように設計されています。その高度なイメージング技術、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、堅牢な構造により、マスクやウェーハの検査に最適なソリューションです。NIKON AMI-3000は、優れた画質、高速、高度な機能により、あらゆる半導体検査プロセスに不可欠なツールです。
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