中古 NIKON 3A #9272638 を販売中

NIKON 3Aは、ハイスループット検査および欠陥解析用に設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。フルショット光学系を搭載し、マスクやウェーハの高解像度撮影が可能な高輝度の光学系です。3Aの設計は最も困難なプロセスの必要性を考慮に入れ、25nmまで特徴サイズをスキャンするフルショットを点検することができます。NIKON 3Aユニットは、ウェーハまたはマスクの回転ステージを内蔵したモーター付きモジュールと、独自の4象限光学マシンで構成されています。光学ツールは、光強度とコントラストを最適化するために設計されており、画質と欠陥検出で最高のパフォーマンスを実現します。オペレータが検出しきい値を設定し、各種ロットタイプに自動調整できる低リップル撮影により、高い感度とコントラストを実現し、検査経験を容易に調整できます。イメージングに関しては、3A資産は非常に汎用性が高いです。反射性と透過性の両方のマスクとウェーハを検査するように構成することができます。明るいフィールド、暗いフィールド、模倣された明るいフィールド、および斜めおよび軸外照明を含むいくつかのイメージングモードがあります。また、1D、 2D、および3D形状の欠陥を認識して検査することもできます。NIKON 3Aモデルのユーザーフレンドリーなインターフェースにより、初心者でも高度な機能検出機能を利用できます。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーは検査機器を特定のニーズに合わせて簡単にカスタマイズできます。さらに、3Aシステムは自動パターン認識と識別アルゴリズムを統合して、欠陥の形状とサイズを迅速に識別および分類します。全体的に、NIKON 3Aは、マスクやウェーハの効率的かつ非常に詳細な検査のために設計されたユニークな検査ユニットです。高輝度、フルショット画像、調整可能な検出しきい値、イメージングモード、自動パターン認識および分類アルゴリズムにより、3Aはマスクおよびウェーハの検査および分析に理想的な機械です。