中古 NIKON 3 #132517 を販売中
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NIKON 3は、NIKONが設計した強力なマスクとウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクやウェーハ上の重要な領域の欠陥を識別するように設計されています。露出マスク、オーバーコートマスク、リトグラフィックイメージングマスク、アライメントマスクなど、さまざまな種類のマスクを検査することができます。このマシンは、高度な光学系と信頼性の高い機械的ステージを備えており、マスクとウェーハの検査を可能にします。それは3つの異なった波長の光線を作り出すことができる高度の固体レーザーを使用します。これにより、さまざまなマスクやウェーハから輝度データを取得し、LCDコントローラに表示することができます。LCDコントローラには、メニュー間のナビゲート、パラメータの設定、その他の機能のためのさまざまなボタンが含まれています。優れた性能を確保するために、3には精密なスキャンと位置決めのためのさまざまなモーションコントロール技術が含まれています。これには、XY運動用の単軸モーター、XY運動用の3軸ロータリーステージ、および回転運動用の4軸ミラーが含まれます。さらに、マスクやウエハー上の傷、分裂、穴、その他の異常などの欠陥を認識できる画像処理ツールも搭載しています。NIKON 3アセットで取得した画像は専用のコンピューティングプラットフォームに保存されます。このプラットフォームは、ユーザーが画像に迅速かつ正確にアクセス、分析、管理できるように設計されています。また、画像を2次元または3次元形式で処理および表示するためのツールも含まれています。モデルは高度にカスタマイズ可能です。拡大、フォーカス、照明、明るさ、パターン認識など、さまざまな設定とマスク/ウエハ検査のオプションが含まれています。設定を調整することで、取得する画像の特性や目的の画像機能を定義することができます。この装置は信頼でき、正確な結果を提供するように設計されています。それは産業および研究の適用に利用することができる強力で、多目的な用具です。さらに、作動し、維持することは容易です。
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