中古 NIKON 3 & 3A #54867 を販売中

NIKON 3 & 3A
ID: 54867
ウェーハサイズ: 8"
Optistations, up to 8"-objectives, repair parts, motors and boards.
NIKON 3&3Aは、ハイエンド半導体デバイスの量産用に設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。欠陥を正確かつ迅速に特定し、迅速かつ信頼性の高い検査結果を提供します。3&3Aは、インラインおよびオフライン検査機能を備えています。オフラインモードは、製品開発、プリプロダクションおよびポストプロダクション、およびR&Dに使用されます。インラインモードは、本格的な製品検査に使用されます。NIKON 3&3Aの高度なウェーハフェーズプローブとエッジツーエッジ検査機能により、ハイエンド半導体デバイスの検査に最適です。このシステムは高解像度のイメージングプラットフォームで構成されており、オペレータはデバイスをワシの目で見ることができます。カメラは、最大2048 × 1536ピクセルの解像度を持つ4メガピクセルCCD(充電結合デバイス)を搭載しています。アライメントセンサーは+/-0。02ミリメートルまで正確で、検査中のデバイスの正確なアライメントを可能にします。本体には欠陥検査装置が内蔵されており、デバイス表面の微細な欠陥も検出することができます。このツールは、数ナノメートルから数マイクロメートルまでのサイズの粒子、空隙、およびその他の欠陥を検出することができます。欠陥検査機能に加えて、3&3Aは半導体デバイス検査にも幅広い機能を提供しています。表面品質検査モジュールは、デバイス表面の傾きや歪み、マイクロバックル、粒子濃度などの表面特性を測定することができます。また、3D応力マッピングや粗さ測定などの高度な指標もサポートしています。NIKON 3&3Aは、直感的で人間工学に基づいたグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーです。また、容易に拡張可能であり、お客様はモジュールを追加し、資産の能力を段階的に向上させることができます。3&3Aは、ハイエンド半導体デバイスの検査に最適です。その精度、スピード、使いやすさにより、最も微細な欠陥を検出するための信頼性と効率性の高いモデルとなり、拡張性により、お客様は成長するにつれて機器をアップグレードすることができます。
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