中古 NIHON DENSAN TWi-5000 #9293547 を販売中

NIHON DENSAN TWi-5000
ID: 9293547
ヴィンテージ: 2014
Automatic appearance inspection system 2014 vintage.
NIHON DENSAN TWi-5000は、パターン化されたウェーハ、マスク、フォトマスク基板の信頼性と正確な光学検査を提供するために設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、半導体製造プロセスから派生した製品に欠陥の自動解析、検出、修正を提供するように設計されています。TWi-5000ユニットには、さまざまな高度な光検出方法と制御システムが装備されています。高精度のモーションコントロールステージ上に構築されているため、広い視野範囲で毎秒最大144枚の画像を自動スキャンすることができ、正確かつ迅速な検査が可能です。日本電産TWi-5000は、高効率のディープラーニング技術を活用し、半導体デバイスやフォトマスクの欠陥パターンを解析しています。これらの予測により、欠陥のさらなる分析を行い、パターンにグレードを割り当てることができます。これは、製品品質に関する効率的な評価、政策決定、改善戦略を支援するためのフィードバックをユーザーに提供します。このツールには、ウェーハフィルムのチェックアウトアセットが含まれており、ユーザーは単一の露出または単一の全面画像でウェーハ全体の品質を確認できます。このモデルは、欠陥のサイズ、種類、数などの特性を測定および評価するための自動化されたプロセスと、データの不一致のチェックを備えています。この機器はまた、その自動化されたプロセスを通じて、ユーザーからの入力を最小限に抑える必要があります。TWi-5000により、欠陥解析機能が強化され、マイクロリソグラフィーおよびIC製造生産における欠陥を迅速に識別および分析できるようになりました。このシステムには高度な統計解析ソフトウェアが搭載されており、大きなピットで隔離された粒子や傷の傷、印刷の欠陥がパターンのエラーやずれを埋めるなど、さまざまな欠陥パターンを検出して分析することができます。また、マスクパターンと理想パターンを比較するために使用できる統合パターンマッチング解析もサポートしています。これにより、デバイス内のパターンのミスマッチまたはミスアライメントのタイプを識別して分析する効率的な方法が提供されます。高度で洗練された機能により、包括的なマスクおよびウェーハ検査プロセスを提供し、半導体デバイスや集積回路の効率的な生産を実現しています。TWi-5000。このマシンはエラーや欠陥を減らすことができるため、製品の品質が向上し、コストが削減されます。
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