中古 NANOMETRICS Vertex #9379059 を販売中

NANOMETRICS Vertexは、finFET技術を含む高度なプロセスノードおよびアプリケーションをサポートするように設計されたマスクおよびウェーハ検査システムです。高度な画像処理と高度なパターン認識機能を備えています。このシステムは、アクティブ層とパッシブ層の両方のウェハリソグラフィープロセスにおける重要な欠陥検出を改善するために使用できます。均一な照明と優れた画質を提供する高性能の光学モジュールと組み合わせて、全輝度の均一性とシャープネスで上下の画像を取得できるユニークな画像取得エンジンで構成されています。頂点は、いくつかの高度な画像操作機能で構成することもできます。そのうちの1つは、適合反射防止コーティング（CARC）の検出と、マイクロブリッジや欠陥水たまりのようなサブリゾリューション機能を可能にする特許取得済みの画像交差技術（IIT）です。また、欠陥の識別と分類のためのコンピュータ支援プロセスであるAnalytical Matching Module （AMM）も付属しています。また、高速なデータストレージ容量、効率と精度を向上させるための複数ステージの欠陥識別エンジン、および自動欠陥レビューとアノテーションを可能にする機能を備えています。また、故障解析用のデータ取得・解析エンジン、操作やセットアップが容易なドロップダウンメニュー、各種用途に対応したカメラヘッドモジュールなどで構成することができます。最後に、NANOMETRICS Vertexは、自動欠陥レビューとアノテーション、欠陥追跡、トレンド分析のための幅広いオートメーションソリューションと統合できます。また、さまざまなウェーハレイヤーや計測操作の自動欠陥ソートとシーケンシングもサポートしています。