中古 NANOMETRICS SDP-2000T #9354596 を販売中

NANOMETRICS SDP-2000Tは、半導体マスクおよびウェーハ形状の完全性と精度を評価するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、光学画像とデータ収集技術を使用して、2Dと3Dの両方の機能を自動測定することができます。その長さと角度測定は、高い再現性で実行することができ、生産ラインの信頼性を提供します。単位は2つの主要なモジュールから成っています；マスクの点検モジュールおよびウェーハの点検モジュール。マスク検査モジュールにはオートアライメント機能が搭載されており、複数のマスクを高速かつ正確に測定できます。さらに、アライメントおよびオーバーレイ測定をマスクするウェーハを提供し、絶縁欠陥に対する最大40倍の倍率と光学検査を備えています。ウェーハ検査モジュールは、フラットウエハとステップウエハの両方の検査を行うことができます。このマシンは、2次元サーフェスマッピング技術を使用して、設定されたパラメータに応じて、1平方ミリメートルあたり40から200のデータポイントを取得できます。測定ポイントはユーザー定義ゾーンで定義でき、簡単に取得できます。検査結果は自動的にツールに保存され、さらに内部データベースとして処理されるか、外部データベースにエクスポートされます。また、高度な画像処理およびフィルタリング機能も搭載しており、品質管理の強化と測定パターンのさらなる分析が可能です。さらに、ステレオやシングルビュープロジェクション、3D立体ディスプレイなど、さまざまな表示モードを提供します。対応するソフトウェアも柔軟性が高く、ユーザー定義の設定が可能で、操作を簡単にカスタマイズできます。全体として、SDP-2000Tはマスク検査とウェーハ検査の両方で、信頼性が高く正確な性能を提供します。その柔軟性により、既存の生産ラインに容易に統合でき、高度なイメージング機能により、半導体部品の形状と組成に関する正確な情報を提供できます。したがって、この装置は品質管理アプリケーションに非常に有用であり、さまざまな材料で正確な測定を確実に行うことができます。