中古 NANOMETRICS RPM Blue #293737540 を販売中

NANOMETRICS RPM Blueは、検査プロセスの効率と精度を高めるために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。それは人間の毛髪のサイズより小さい目的および欠陥を識別する高分解能の光学測定およびイメージ投射機能を提供します。このシステムは、高度なフォトニクス技術に基づいており、前面と背面の両方のマスクとウェーハのパターン形状を測定することができます。このユニットは、高精度の位置決めステージ、明確に定義された照明機、およびCCDカメラで構成されています。位置決めステージは、精密リニアモーターベースのX-Yテーブルに基づいており、少なくとも± 50 nmまで精度が高く、10nm ±に再現可能です。照明器具には、ハロゲン、蛍光、水銀源が搭載されており、幅広い画像構成が可能です。アセットには高解像度のCCDカメラが搭載されており、1ピクセルあたり最大1。3 umの解像度の画像を提供します。このモデルは、クロムオンガラス、クロムオンクォーツ、クロムオンメタルなど、さまざまなマスクタイプを取り扱うように設計されています。高度なパターン解析を使用して自動的に欠陥を検出し、識別する高度な欠陥検出アルゴリズムを備えています。粒子の汚れ、汚れ、欠陥、持ち上げられた端、開いたライン、行不足、および橋渡しの欠陥のような欠陥を識別し、測定できます。この装置は、低価格を維持しつつ、最高品質の測定と欠陥検出性能を提供するために最適化されています。システムのユーザーインターフェイスは非常に直感的で、さまざまな検査パラメータを制御するためのドラッグアンドドロップナビゲーションがあります。このユニットは、他のシステムやソフトウェアツールと統合することができ、プロセスの最適化と自動化を可能にします。全体として、NANOMETRICS RPMBLUEは、高解像度の画像、正確な測定、および欠陥検出を提供することができる非常に強力で費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査機です。これは、検査ニーズのための効率的で信頼性の高いツールを探している任意の実験室やメーカーに最適です。