中古 NANOMETRICS RPM Blue #293602377 を販売中

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ID: 293602377
Spectrometer.
NANOMETRICS RPM Blueは、最高品質を保証するためにフォトマスク、電子ビームパターン、誘電材料の分析およびレビューに使用される高度なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは最適な性能のために設計されており、超高解像度のイメージングと解析が可能です。高速かつ効率的なデータ収集のための自動ウェハマップギャラリー、マイナーな連続再レイアウト機能をサポートする柔軟なユーザーインターフェイス、洗練された機能認識と自動欠陥分類のための幅広いアルゴリズムを備えています。NANOMETRICS RPMBLUEはまた、高い歩留まりフォトマスク分析を提供するために自動焦点と露出設定を備えています。フロントエンドの光学系には、調整可能なレンズの焦点と5つのプログラム可能な絞り状態があります。また、高度なXYアライメント機能を備えた統合ステージマシンと、テストパターンのサイズに正確に対応するために視野を調整する動的XYサンプリング精度を備えています。さらに、ツールのスペクトルフィルタはオンザフライで調整可能で、さまざまなレイヤーのスペクトル豊富な画像を提供します。RPM BLUEには、ユーザーがウェーハやフォトマスクの品質をよりよく把握できるように設計された強化されたイメージングおよび測定ソフトウェアが付属しています。このアセットは、ダイのサイズ、散乱および暗いフィールド、接触穴、線幅などのウェーハ画像特性のテーブルとヒストグラムを作成できます。また、複数のパターンをすばやく正確に比較できる強力な統計機能を備えています。この製品には、高度なパターン分析およびレビューツールキット(P。A。R。T。)も含まれており、異なるテスト仕様を効率的かつ迅速に評価して異常や欠陥を動的に識別するのに役立ちます。また、ユーザーがすべてのデータをすばやく保存、取得、報告するのに役立つ「情報管理ツール」も付属しています。要するに、NANOMETRICS RPM BLUEは、業界標準を超える高度な機能と結果を備えた半導体設計、マスク、ウェーハ検査用のワンストップソリューションです。
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