中古 NANOMETRICS Orion #9217790 を販売中

NANOMETRICS Orionは、幅広い半導体デバイスの表面形状や幾何学的パラメータを測定できる画期的なマスクおよびウェーハ検査装置です。非常に高い精度でウェーハやマスクを検査する必要があるメーカーに最適です。システムの中心には、高解像度カメラと変調光源を使用してサンプル機能を分析する独自のスキャンおよびサンプリング技術があります。フルフレームイメージングセンサーは、高コントラストでサンプルの複数のビューから画像をキャプチャします。このユニットは、独自のアルゴリズムを使用して画像をキャプチャおよび分析し、サンプルの表面地形と物理的特徴を短時間で高解像度で特性化します。また、Orionには高度なマルチチャンネル信号調整モジュールが組み込まれており、マシンは4つの表面パラメータを同時に測定できます。このモジュールは、表面スパイクの角度平坦度、表面の突出部分、厚さのばらつき、または表面構造の先端間の距離を測定します。また、サンプルの表面構造と信号断面の最大突起高さを多方向に測定します。このツールには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、オペレータは迅速にテストを設定し、測定パラメータを選択し、サンプル機能を測定し、リアルタイムで結果を視覚化することができます。このソフトウェアは、強力な校正ツールとさまざまなツール構成も提供しています。NANOMETRICSオリオンマスクとウェーハ検査アセットで得られたすべての測定は、高い精度と再現性を備えています。モデルは産業および実験室の適用のための最も厳しく、要求の厳しい条件を満たすように設計されています。トポグラフィ、SPI、 SEM、 AFM、 SEM-EDX、またはOWLSアプリケーションを含む、マスクおよびウェハ表面の特性評価のための完全なソリューションを提供します。