中古 NANOMETRICS NanoSpec #293830496 を販売中
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ID: 293830496
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1985
Film thickness measurement system, 6"
1985 vintage.
NANOMETRICS NanoSpecは、フォトマスクやウェーハの超精密画像および検査用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、クロム、ベンゾシクロブテン、石英、金などの様々なフォトマスク層や材料からのナノスケール地形の測定と観察に最適化されています。NanoSpecユニットは、強力な照明装置と高解像度のイメージングツールの両方を備えており、フォトマスクとウェハサンプルの両方に非接触、非破壊検査機能を提供します。この照明アセットには、高出力LEDとダイナミックアスペクト比を使用して均一な照明を実現し、イメージングモデルには高感度CMOSカメラと特殊光学系を採用しています。これにより、サンプルのナノスケール特性のイメージングと測定において最高の精度が得られます。ナノメトリクスNanoSpecの光収差補正(OAC)と歪み除去アルゴリズムにより、究極の精度と安定性でナノスケール構造を測定することが可能となり、非常に正確な画像が得られます。さらに、ユーザーは任意の視野角からナノスケールの特徴を表示することができます。NanoSpecシステムは使いやすく、画像の探索を容易にするための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が含まれています。このユーザーインターフェイスには、インタラクティブな画像解析と注釈、フィーチャー分析、OAC補正のための強力なツールが含まれています。NANOMETRICS NanoSpecユニットは、正確なイメージングと高度な検査機能を備えており、生産前および生産後のマスクおよびウェーハ検査の両方に使用でき、優れた歩留まりとコスト削減を実現します。機械はまた科学研究および産業研究に使用することができます。
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