中古 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293807248 を販売中

ナノメトリクスNanoSpec AFTは、半導体業界で使用するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、垂直スキャン干渉計（VSI）技術に基づいており、さまざまな半導体製造および研究プロセスにおいて信頼性が高く再現性の高い測定を提供します。単位の主要な部品は干渉単位、電気光学単位およびコントローラーを含んでいる。干渉ユニットは、VSI技術を使用して、サンプルの表面プロファイル（フォトマスクまたはウェーハ）を極めた精度で測定します。電気光学ユニットには、干渉単位によって収集されたデータを分析するために必要な検出光学と電子工学が含まれています。コントローラは、2つのサブシステムを操作し、サンプルの状態とパフォーマンスを全体として監視するために使用されます。NANOMETRICS NANOSPEC/AFTは、VSIの高感度と気流技術（AFT）の方向性を組み合わせ、非常に正確な測定機能を提供します。この機械は、サンプル全体の標準的な非破壊計測を可能にするセンサーヘッドのサンプル上の連続的な空気の流れを利用します。このツールの非破壊的な性質は、サンプルの損傷を防ぎます。このアセットは、半導体産業だけでなく、研究開発アプリケーションにも応用されています。高度な信号処理アルゴリズムにより、表面粗さ、線幅、平坦度など、さまざまなサンプル属性を再現可能かつ正確に測定できます。NanoSpec AFTでは、ラインエッジの粗さ（LER）、ファセティング、線幅の粗さ、深さの変化などの完全な表面プロファイルとサブミクロンの特徴を測定することもできます。これにより、重要なレイヤーマスクパターンやトランジスタゲートプロファイルの検査に特に役立ちます。NANOSPEC/AFTは高いサンプルスループットで設計されており、短時間で大量のサンプルを検査することができます。また、非常に使いやすく、特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズすることができます。小型で低コストなため、半導体検査や研究用途に最適です。