中古 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293661060 を販売中

ナノメトリクスNanoSpec AFTは、高精度の計測用途向けに設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、複雑なマスクとウェーハ機能の鮮明で詳細な画像を提供するための広範なオプトエレクトロニクスコンポーネントを提供します。これを実現するために、2つの基本的なコンポーネントが統合されています。レーザーソースイメージングユニットと高度なイメージングヘッドです。NANOMETRICS NANOSPEC/AFTのレーザー源コンポーネントは、サブナノメートル（~ 1nm）精度で寸法を測定します。これは、3チャンネル強化CCD （ICCD）カメラと組み合わせた8チャンネルレーザーマシンを使用しています。このツールは高度な3Dイメージングが可能で、エラー訂正および/または測定アプリケーション用に特別に構成することができます。また、幅広いパターン認識技術をサポートし、マスクとウェハの両方の機能の正確で正確で高解像度のイメージングを提供します。NanoSpec AFTのイメージングヘッドコンポーネントは、ウェーハ表面の高精度イメージングと0。5 nmの分解能を備えています。高反射多軸高精度電動段階が含まれています。このモジュールは、ウェーハ表面へのイメージングアセットの最適なアライメントのためのステージの非常に正確な制御を可能にします。このモデルはまた、周囲光源からの干渉を排除し、高解像度のイメージングを確保するための堅牢な光学絶縁装置を提供します。NANOSPEC/AFTは、高精度マスクおよびウェーハ検査に使用できる最も包括的で費用対効果の高いソリューションです。特徴寸法を正確に測定し、線幅や角カットなどのパターンの誤差補正を可能にします。そのため、プロセス制御と製造の最適化のための貴重なツールを提供します。このシステムは信頼性が高く、操作が簡単で、生産環境に最適です。