中古 NANOMETRICS NanoSpec AFT 4000 #9024521 を販売中
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ID: 9024521
ウェーハサイズ: 3"-8"
Film thickness measurement system, 3"-8"
Capable of accommodating wafers from 75mm to 200mm
Olympus 5x, 10x, and 50xULWD objectives
Olympus 10x eyepiece
System Computer and Software
Visible Single Layer Films: 500 – 50,000A
UV Single Layer Films: 25 – 500A
Visible Double (Top) Layer Films: 100 – 30,000A
Visible Double (Bottom) Layer Films: 500 – 50,000A -Single Layer Thick Films Visible: 4 – 75 um
Reflectance Visible: 400 – 850nm
Oxide on Poly UV: 150 – 10,000A
Oxide on Metal Visible: 3,000 – 20,000A
Oxide on Metal UV: 500 – 5,000A
Operator Manual and Documentation.
ナノメトリクスNanoSpec AFT 4000は、半導体デバイスに高品質の自動試験を提供するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、自動焦点イオンビーム(FIB)技術を使用して、イメージングと解析の両方のタスクを実行します。これは、地形や組成から相互接続性およびリソグラフィ特性に至るまで、マスクやウェーハの物理的特性を測定および分析する効果的な手段を提供します。ナノメトリクスNANOSPEC/AFT 4000は、3つの主要なセクションで構成されています。1つ目は、高解像度のシーメンスMAGNA 3軸検出器と強力な顕微鏡を搭載した検査ユニットです。これにより、マシンは倍率下で最小の機能を正確に検出して解決することができます。2つ目は、デュアルイオンソースツールを使用するFIB Sourceです。これは正確なイメージングおよび分析のための制御されたイオン線量を提供します。最後に、アセットには統合されたAnalysis and Reviewインターフェイスがあります。これにより、各テストの結果を簡単に監視および評価することができます。NanoSpec AFT 4000には、ユニークな機能がいくつかあります。まず、高いスループットステージを備えているため、複数のマスクとウェーハシートを1つのパスで同時にテストすることができ、プロセスを大幅にスピードアップし、納期を大幅に短縮できます。さらに、このモデルは高精度で再現性があり、ユーザーは毎回信頼できる結果を得ることができます。装置には安全機能も内蔵されています。これらには、汚染を防ぐ真空システム、および電気充電の蓄積リスクを低減するための帯電防止メカニズムが含まれます。さらに、このユニットは地形と組成の両方を同時に測定することができ、効率を最適化するための包括的な結果を提供します。NANOSPEC/AFT 4000は汎用性と高度にカスタマイズ可能なマシンです。そのため、イメージング、エレクトロケミカル、蒸着、マスクウエハ作製など、複数の用途に対応できます。集積回路からプリント回路基板まで、さまざまな業界で使用できるように設計されています。また、高温多湿環境でも精度と結果を維持することができ、多様な生産環境に最適です。
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