中古 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9280739 を販売中
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ID: 9280739
ウェーハサイズ: 6"
Thickness measurement system, 6"
Head assembly
Photo Multiplier Tube (PMT)
PMT Socket
Optics
Nanospec 210 Computer
Nanospec CRT Monitor / Keyboard
Manual
Range of thicknesses: 100 to 500,000 Å
Typical measurement time: 2.5 seconds
Power supply
Spot size:
50 µm with 5x objective
25 µm with 10x objective
6.5 µm with 40x objective.
ナノメトリクスNanoSpec AFT 210は、フロントサイドメトロロジー、欠陥検出、フィーチャー解析用の包括的なマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体製造用に設計されたこのシステムは、検査プロセスを自動化するための使いやすいプラットフォームを提供します。このプラットフォームは、ウェーハのための小さな部品分析機能を備えています25mm。この装置は、ナノスケール変位センシング技術を使用して、IC、マイクロ部品などのフォトリソグラフィ欠陥、表面プロファイルなどの特徴を測定します。また、現在の解析、光学故障検査、フットプリント解析などの機能を使用して、ナノスケールレベルでの欠陥検出にも対応しています。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210は、その機能を強化するために、さまざまな画像解析および測定機能を提供します。統合されたマージ/スプリットツールにより、ウエハイメージとコンポーネントパラメータを関連付けることができます。エッジ検出アルゴリズムは、機能測定の精度を向上させるのに役立ちますが、内蔵の定量欠陥ライブラリは、測定および欠陥条件を設定および分析するための便利な視覚支援を提供します。アセットのインターフェースはユーザーフレンドリーで、オペレータは簡単にパラメータを選択し、収集されたデータを表示し、結果を分析することができます。また、品質管理を合理化する自動欠陥レビューモードも提供します。信頼性の高いイメージング用の高速オートフォーカス機能と、最大2つの角度を同時に測定できるマルチアングル測定機能を搭載しています。このモデルはまた、精度と信頼性を確保するために構成可能な検査モードを備えています。NanoSpec AFT 210は、マスクおよびウェーハ検査に効率的かつ包括的なソリューションを提供します。ナノスケールの欠陥検出機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、高速オートフォーカス機能、広範な画像解析および測定機能により、半導体製造プロセスにおける品質検査のための信頼性と効率的なプラットフォームとなります。
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