中古 NANOMETRICS NANOSPEC 8000XSE #293732499 を販売中

NANOMETRICS NANOSPEC 8000XSEは、ウェーハおよびマスクの検査および分析において真の3D性能を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。この8000XSEにより、2D、コーンビーム、Zernikeモードを含む複数のジオメトリ解析モードが可能になります。この高度なシステムは、3Dトポグラフィ、イメージング、自動欠陥認識を使用して、検査プロセスの両方のステップで正確な測定と再現性のあるグレードを実現します。この8000XSEには、計測タスク中のデータの高度な一貫性を可能にするいくつかの高度な機能が含まれています。広い視野を提供する2つの高速軸スキャンシステムからなる洗練された光学ユニットを備えています。さまざまなサイズのサンプルに対応し、最高の精度を可能にする目的の範囲が利用可能です。これにより、MEMS、 SOI、 Deep Mesas、ナノ粒子などの幅広いデバイス構造を測定する際の高品質な結果が得られます。また、被写界深度を高めて測定することができ、マスクやウェーハに高解像度および大規模機能の両方を明らかにすることができます。8000XSEはまた、グレースケールまたは色域の両方で高速でサンプルをイメージングすることができる強力なCCDカメラを備えています。これにより、短時間で複数の画像を取得でき、詳細な欠陥解析、パーティクルカウント、電気抵抗の測定などの複数の操作が可能になります。さらに、8000XSEにはユニークなin-situホルダーがあり、迅速なサンプル配置が可能です。ホルダーは、サンプル温度をドリフトなしで理想的なレベルに維持するために、正確な温度調節を利用しています。NANOMETRICS NANOSPEC 8000X SEは、正確なウェーハ検査と計測タスクのための優れたツールです。精密スキャン光学系、高速スキャン速度、高度なCCDカメラなどの高度な機能の組み合わせにより、幅広いサンプルに正確な欠陥検出と分析を提供できます。さらに、欠陥認識機能を自動化した8000XSEにより、幅広い計測タスクで最高品質の結果を保証することがこれまで以上に容易になります。