中古 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9265795 を販売中

ナノメトリクスNanoSpec 6100は、光学基板とフォトマスク基板の精密で高解像度のイメージングを可能にするように設計された包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。光学フォトマスク、抵抗、コンデンサなど、さまざまなデバイスのデジタル部品とアナログ部品の検査、テスト、検証を可能にします。NanoSpec 6100は、LED照明、RGBビデオカメラ、電動ステージなどの最先端のイメージング技術を利用しています。電動ステージは、x、 y、 z軸でマスクまたはウェーハ基板を移動し、迅速かつ正確なピクセル位置を可能にします。このステージには統合されたオートフォーカスユニットが搭載されているため、現場の深さを迅速に調整して正確なイメージングを保証できます。これは、線幅、形状、フォームなどの重要な機能を検査するために非常に有益です。LEDの照明はハイコントラストのイメージ投射を保障するために基質の表面の均一そして反復可能な照明を可能にします；RGBビデオカメラと組み合わせることで、さまざまなサイズのマスクやウェーハを検査する際の正確な色分離を可能にします。ナノメトリクスNanoSpec 6100は、生産環境やラボ環境で使用するために設計されており、多くの革新的な機能も備えています。欠陥検出のための自動色処理アルゴリズム、欠陥画像のリアルタイム処理、SPC機能を備えた欠陥データ解析、高解像度画像キャプチャ、マルチビューアングルイメージング、最大500nmの解像度での測定機能などがあります。このツールは、欠陥を最大8ミクロンまで素早くスクリーニングし、毎秒最大5ミクロンの速度で高精度な結果を得ることができる自動検査アセットも備えています。全体として、NanoSpec 6100は、幅広いマスクおよびウェーハの調査および検証プロセスで使用するための包括的な検査モデルを提供します。装置の高度なイメージング技術、電動ステージ、自動色処理、および高精度測定機能は、デバイスを高精度に測定および検証しようとするあらゆる生産環境や実験室環境に最適なツールです。