中古 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293825987 を販売中

ID: 293825987
ヴィンテージ: 2003
Film thickness measurement system 2003 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 6100は、半導体業界向けのハイエンドマスクおよびウェーハ検査装置です。NanoSpec 6100は、自動欠陥検査(ADI)と表面分析が可能な、受賞歴のある完全な検査ソリューションです。ナノメトリクスNanoSpec 6100は、マスクとウェーハの両方の検査に優れた画像解像度を提供するために、明るいフィールドイメージングシステムを使用しています。このユニットには最適化されたマルチアングル散乱計が装備されており、単一のウエハ上の複雑なパターンの3D特性評価が可能です。また、Feature Overlap Analysis (FOA)、 LWSA (Line Width&Spacing Analysis)、組み込みパターンおよびアライメント計測など、幅広い検査パラメータと機能を提供します。NanoSpec 6100は、マスクおよびウェーハ検査にも柔軟な計測機能を提供します。これにより、ユーザーは検査パラメータ、電源、スポットサイズをカスタマイズして、ウェーハレビューとチップ性能を最適化できます。さらに、高度な3D再構成機能により、オーバーハング、CDバリエーション、傾き、シフトを調べることで、より高い歩留まりを得ることができます。さらに、NANOMETRICS NanoSpec 6100は、ユーザーの介入を最小限に抑えて高速かつ正確な結果を提供するように設計された高度に自動化された検査ツールです。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えたクリーンで直感的なユーザーインターフェイスと、特定のアプリケーションのニーズに合わせた幅広い測定オプションを備えています。結論として、NanoSpec 6100は、マスクとウェーハの研究のための包括的な検査ソリューションを提供します。このアセットは、優れた画像解像度、自動欠陥解析、カスタマイズ可能なスポットサイズ、柔軟な計測機能、およびユーザーフレンドリーなGUIを提供します。NANOMETRICS NanoSpec 6100は、半導体プロセスやウェーハ検査に最適です。
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