中古 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293795183 を販売中

ナノメトリクスNanoSpec 6100は、マスクとウェーハの両方を同時に正確かつ効率的に検査するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置で、両方のタイプのワークピースの欠陥を迅速に特定できます。このシステムは複数の動作モードを備えており、トップダウン、ボトムアップ、ハードマスク検査モードが可能で、ユーザーはあらゆる高さの欠陥を識別して検査することができます。NanoSpec 6100は、幅広い表示モードでウェーハやマスクのピクセル単位の解析が可能で、従来の検査方法では検出しづらい微妙な欠陥を特定することができます。また、Oblique Illumination （OI）やDark-Field Illumination （DFI）などの高度なイメージング機能を備え、コントラストを最大限に高め、欠陥識別を向上させます。これらの機能は、サイドウォールの欠陥、ビアの欠落、連絡先など、他の照明技術では見えない機能や機能を明らかにするために使用できます。NANOMETRICS NanoSpec 6100は、オプションの高度なカラーカメラで、自動赤、緑、青のICCDカメライメージキャプチャ、LEDおよびフラッシュカラーイルミネーション、およびTrue Color Edge検出を実行できます。また、工具シンクロスキャンの自動化、スキャン周波数の自動最適化、大面積の検査用の自動ステッチ、フォーカスの自動最適化など、生産性を最大化するための自動検査ツールを幅広く備えています。このアセットには、オプションのバックサイド照明モジュール、ベクトル軌道スキャン、自動欠陥補正、フィールドチューニングの深さ、オンライン欠陥レビュー用のモジュールなど、さまざまなユニークな機能も含まれています。NanoSpec 6100は、自動欠陥検出、分類、自動レポート生成などの機能を合理化した効率的なワークフローを備えており、検査時間を短縮し、生産性を向上させることができます。このモデルには、トップダウン、ボトムアップ、ハードマスク検査に使用できるウェーハとマスクデータの包括的なレビュー、分析、比較のための強力なデータ管理ツールも含まれています。ナノメトリクスNanoSpec 6100は、完全に自動化された汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査装置で、生産性と精度を向上させます。NanoSpec 6100は、さまざまなイメージング機能と高度なオートメーションツールを備えており、ウェーハとマスクの検査をリンクし、信頼性の高い歩留まりを確保するのに最適です。