中古 NANOMETRICS NanoSpec 4000 #9229793 を販売中
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NANOMETRICS NanoSpec 4000は、幅広いプロセスノードに最適なマスクとウェーハパターンの透明性を実現するために設計された次世代のマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクとウェーハの両方のパターンを最高の精度と再現性で検査することができます。NanoSpec 4000には、自動欠陥検査、プログラム可能な計測、独自のアルゴリズム駆動およびアダプティブ機能認識(AFR)ユニットなど、一連の先進技術が搭載されています。AFRマシンは、ナノメトリクスNanoSpec 4000を使用して、従来の光学技術よりも精度の高い微妙な欠陥を検出することができます。NanoSpec 4000は、6Xおよび12X倍率の両方で自動光検査カバレッジを提供し、より詳細な機能を提供するように設計されています。また、欠陥検出アルゴリズムの改良も実施しており、パターンベースの検出や歩留まり解析などの高次検査機能を活用しながら、共通欠陥をより効率的に検出することができます。ナノメトリクスNanoSpec 4000は、各アプリケーションの特定の要件を満たすようにカスタマイズでき、各生産ラインに合わせてカスタマイズできます。高速かつ自動化された欠陥検査により、人員要件が大幅に削減され、製造工程でのサイクルタイムが改善されます。また、部品の組み立てや配置の誤りのリスクも低減されます。このツールは、汎用性の高いユーザーインターフェイスと、迅速かつ信頼性の高いデータ収集のための包括的な統合データ取得およびレビュー資産を備えています。プログラム可能な計測はNanoSpec 4000でも利用可能で、重要な寸法と主要なフィーチャー領域を完全に測定できます。ナノメトリクスNanoSpec 4000の優れた画質は、優れた信号対ノイズ比を提供し、さまざまな検査プロセスに適しています。堅牢なソフトウェアプラットフォームにより、迅速なデータ分析と特性評価が可能になり、プロセスの歩留まりとパフォーマンスを最適化できます。NanoSpec 4000は、幅広いカスタム機能と高度なオプティクスを備えており、先進技術ノードアプリケーションの自動マスクおよびウェーハ検査に最適なソリューションです。
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