中古 NANOMETRICS NanoSpec 4000 #9105592 を販売中
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NANOMETRICS NanoSpec 4000は、パターンフィルムおよびウェーハ検査の分野で比類のない性能を提供するように設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。NanoSpec 4000は、高解像度のイメージング機能と独自のソフトウェアツールを組み合わせることで、高速かつ信頼性の高い方法でウェーハ基板上の微小欠陥を正確に検出し、特性評価するように設計されています。ナノメトリクスNanoSpec 4000は、半導体レーザーと2台の高解像度カメラからなるデュアルビームイメージングシステムを備えています。カメラは独自の2Dイメージングアルゴリズムを使用して、0。2ミクロンの寸法で特徴を検出して特徴付けします。ユニットによって収集されたデータは、強力な可視化ツールの配列を使用して分析および表示されます。これらの方法を通じて、機械は肉眼では見えない欠陥を識別することができます。NanoSpec 4000は、イメージング機能に加えて、スカーレッドマスクから緩い粒子、ピンホール、その他の不適合な機能まで、幅広い種類の欠陥を検出することができます。このツールの高度な検出戦略には、従来の検査技術と光学検査技術の両方が含まれ、これまでにないレベルの精度と詳細を提供します。ナノメトリクスNanoSpec 4000には、さまざまな自動アライメント機能が搭載されており、複数の基板のパターンを正確に測定および比較できます。従来の光学比較アルゴリズムを改善することで、最も微妙な欠陥をすばやく正確に識別することができます。NanoSpec 4000は、高度なイメージングおよび検出機能に加えて、他の計測ツールと統合する機能も備えています。これにより、寸法解析や欠陥密度測定など、幅広い計測作業に正確なデータを提供することができます。全体として、NANOMETRICS NanoSpec 4000は、信頼性と正確な結果を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。包括的なイメージング、検出、分析機能を備えたこのシステムは、さまざまなサブミクロン基板上の欠陥やその他の不適合な機能を迅速かつ正確に識別することができます。
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