中古 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9220802 を販売中
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ID: 9220802
ウェーハサイズ: 3"-6"
ヴィンテージ: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s / site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
Lamphouse: 50 W
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000は、高度な技術を取り入れた高性能マスクおよびウェーハ検査装置で、高品質な画像処理とさまざまな欠陥検出機能を提供します。NanoSpec 3000は、4つのチャンネルを使用してさまざまな高解像度画像を収集し、CMOS技術とハイエンド光学技術を使用して、解像度とコントラストの両方で卓越性を発揮します。パターン検査用の4チャンネル、CD測定用の近赤外線(NIR)、 2Dエッジおよびウェーハ形状スキャン用のバイオレット(Vis)、 3Dトポグラフィ解析用のUVなどが表示されます。これらのチャネルは、撮影された画像と現在の欠陥の両方に関する包括的な情報をユーザーに提供するために並行して動作します。このシステムには統合された全地球検索エンジンが含まれており、検査時間を短縮し、ディフェクティブイメージの傾向をより見えるようにします。ナノメトリクスNanoSpec 3000には、サンプルマスクとウェーハの豊富なライブラリが含まれており、迅速なセットアップと比較、および期待されるデバイスパラメータに対する潜在的な欠陥を比較するための高性能な欠陥マネージャがあり、貴重な障害情報をユーザーに提供します。NanoSpec 3000は、マルチステージウェーハホールド、360度ウェーハスキャン、高精度ニードルアライメントなど、高度な自動化機能も備えています。これらの高度な機能により、NANOMETRICS NanoSpec 3000は、生産条件の変化においても高速かつ正確で再現性のある検査を提供できます。さらに、ユーザーがワークフロー全体を制御し、測定を編集し、テストイメージとデータの分析を行うことができる高度なソフトウェアスイートが装備されています。信頼性を確保するために、NanoSpec 3000は幅広いウェーハ基板および厚さに最適化されており、適用されるすべての安全基準を満たすように設計されています。信頼できる性能と一貫した精度により、ユーザーはNANOMETRICS NanoSpec 3000を使用して、優れたウェーハおよびマスク検査結果を得ることができます。
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