中古 NANOMETRICS NanoSpec 212 #9217219 を販売中

ナノメトリクスNanoSpec 212は、レーザーと光散乱測定技術を組み合わせた先進的なマスクおよびウェハ検査装置です。パターンフォトマスクやウエハーを検査し、パターンの補正、パターンの点検、詳細分解能の測定を行えるように設計されています。業界をリードする計測ツールとして、NanoSpec 212は、非接触ツールで利用可能な最高速度、最高の再現性、および最も正確なイメージング機能を提供します。ナノメトリクスNanoSpec 212は主に3つの要素で構成されています。これらは、プローブチャンバー、照明ユニット、および検出器です。プローブチャンバーは、スキャンが発生する極端に安定した環境を作り出すように設計されています。機械の高度に同期された働きは均一で、一定した照明を可能にし、大きい均等性に導きます。非球面コンデンサを使用して、チャンバー内のレーザービームをコリメートし、スキャナの統合により、正確で再現性のある測定とイメージングが保証されます。照明ツールには、均一で再現性のあるスポットサイズと強度を得るように設計されたレーザー光源と光学系が含まれています。レーザーは、アプリケーションに応じて特定の波長で構成されます。このアセットにより、幅広い線幅またはマスクフィーチャー要件の解決が可能になります。この検出器は、回折格子から散乱した光を検出し、ディスプレイにデジタル画像を作成するように設計されたシリコンカメラとイメージングファームウェアで構成されています。この画像は解析のためにソフトウェアに転送されます。この手順プロセスを通じて、NanoSpec 212はあらゆる種類のマスクパターンと機能を分析し、比類のないイメージングと正確な測定を提供することができます。ナノメトリクスNanoSpec 212には直感的なUIとソフトウェアが搭載されており、素早く簡単にモデルを制御できます。ソフトウェアとデータ分析には、データの効率的な監視と処理を容易にする幅広い機能が含まれています。これにより、高解像度のイメージング、正確な測定、マスクおよびウェーハ検査などが可能になります。全体として、NanoSpec 212はレーザーと光の散乱技術を利用した高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。安定したプローブチャンバー、照明システム、検出器、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアは、高精度の画像処理、優れた精度測定、および正確なデータ分析を提供します。これにより、NANOMETRICS NanoSpec 212は検査業界に最適なツールとなります。