中古 NANOMETRICS NanoSpec 2100 #9407283 を販売中

NANOMETRICS NanoSpec 2100
ID: 9407283
Film thickness measurement system Table top.
NANOMETRICS NanoSpec 2100は、NANOMETRICSが製造する信頼性の高い効率的な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、半導体製造における欠陥検査の分析、制御、および保証のために設計されています。生産歩留まり、スループット、品質保証プロセスを強化するために利用可能な最先端の機能を提供します。ユニットは、モジュラー、広域検査エンジン、高度な検出器、および洗練されたソフトウェアで構成されています。マスクとウェハの検査は、カスタム設計された高解像度イメージングオプティクスとリニアディアスカンニングカメラによって可能になります。カメラはオートフォーカス、ピクセルマッピング、フィールドシフト補正に対応しています。さらに、90dB以上のダイナミックレンジ、深冷却された温度安定性、そして最も小さな欠陥を検出する優れた低光機能を備えた高感度CCD検出器を備えています。NanoSpec 2100は、高度なソフトウェアツールスイートに依存しています。このスイートは、ネイティブの欠陥検出と基本的なレビューとレポート生成機能を統合しています。包括的なソフトウェアは、欠陥解析、他の検査およびレビューツール、インテリジェント欠陥分類および機械学習機能との迅速かつ簡単な接続を提供します。さらに、このアセットは、リモートデータアクセスと製造プロセスの制御のためのWebベースのユーザーインターフェイスを提供します。モデルの中核には、様々なマスクやウェーハトランスポートシステムがあり、最大限の柔軟性とプロセススループットを実現しています。NANOMETRICS NanoSpec 2100のスキャン速度は最大500 mm2/秒で、視野は360°です。これにより、高電圧および高複雑回路設計に理想的なマスクおよびウェハ検査装置となります。高度な機能に加えて、NanoSpec 2100にはいくつかの安全機能が装備されています。ラマシステムは、検査機と検査されたウェーハとマスクの両方を保護するように設計されたユニットの設計と統合されています。ラマツールは、観察された欠陥が損傷なしに検査された領域から離れることを確実にすることにより、安全性のさらなるマージンを提供します。ナノメトリクスNanoSpec 2100は、自動化されたマスクおよびウェーハ検査部門のための効率的なツールです。その先進的なセンサ、光学、ソフトウェアツールは、幅広い検査および安全機能と組み合わせて、あらゆる半導体製造設備で信頼性が高く汎用性の高い機器になります。
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