中古 NANOMETRICS NanoSpec 210 #293823936 を販売中
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NANOMETRICS NanoSpecは、株式会社ナノメトリクスが開発した「マスク・ウエハ検査装置」です。アプリケーション固有の集積回路(ASIC)の製造と性能を包括的に把握できるように設計されています。このデバイスは、マスクの欠陥をスキャンし、品質関連の問題を特定し、集積回路の構造パラメータと電気パラメータを決定します。NanoSpecは、高解像度ツールと強力なソフトウェアスイートと、複雑な集積回路を評価および検証するための一連の高度な技術を組み合わせています。このシステムは、狭い線、小さな点、非常に細かい詳細などの小さな機能をすばやく検出して診断し、仕様外のデバイスを拒否することができます。ナノメトリクスNanoSpecは、正確な欠陥検出、低偽故障率、高スループット、および幅広い計測機能を提供します。NanoSpecデバイスは、光学および電気マイクロインスペクションの2段階の検査ユニットを使用しています。まず、光マイクロインスペクション装置は、電子顕微鏡のような高エネルギーのビームでサンプルを照射し、マイクロレベルの欠陥を検出します。次に、電気マイクロインスペクションツールは、サンプルに電気信号を適用して、抵抗や静電容量などのマクロレベルの電気パラメータを測定します。NANOMETRICS NanoSpecは、この2つの検査ステージを組み合わせて、1ミクロンの構造物の欠陥を検出し、0。1ミクロンまでの分解能で金属、ビア、および接点を正確に測定できます。さらに、このアセットは、照明、フォーカス、および検出器の独立した制御を提供し、CD SEMなどの他の機器との統合を可能にします。NanoSpecは、欠陥検査、デバイス特性評価、および高スループットに必要なすべてのコンポーネントを組み込んだターンキーモデルとして設計されています。設計救助、歩留まり改善、故障解析のための包括的なツール群は、お客様のアプリケーションに合わせてカスタマイズできます。さらに、プロセスインテグレーションやメンテナンスなど、明確に定義されたプロセスアルゴリズムにより、操作が容易で信頼性の高い結果が得られます。NANOMETRICS NanoSpecは、集積回路の欠陥を迅速かつ正確に検出し、電気パラメータを決定することができる汎用性の高い検査装置です。ASICの製造において非常に貴重なツールであり、確実にコストの削減とデバイスのパフォーマンスの向上に役立ちます。
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