中古 NANOMETRICS NANOLINE 50-2 #9193170 を販売中

ナノメトリクスナノライン50-2は、非常に高い精度で多種多様な重要な欠陥を検出および分析するために設計された、自動、高速、マスク&ウェーハ検査装置です。ダイレクトドライブと高解像度非接触リニアエンコーダを搭載したウェーハキャリングステージを採用し、ステージ内のウェーハの超精密な移動とアライメントを実現しています。ウェーハの正確な位置決めのための電動シータステージにより、ステージの精度がさらに向上します。さらに、可変的な数値絞りを持つ目的により、小型ピッチパターンの高解像度イメージングを実現します。この機械は、ウェーハのすべての象限を全面的に検査することができ、標準的なキャリブレーションスリップまたはウェッジを使用して自動キャリブレーションを行うことができます。校正に加えて、NANOLINE 50-2は、正確な測定を保証するための包括的な測定およびアライメント機能を提供します。欠陥解析と特性評価には、ブライトフィールド、ダークフィールド、位相イメージング、APS、 CWF、 Coloumnsなどの多くの種類の画像解析技術をサポートする高度なメソッドエディタソフトウェアが付属しています。欠陥検出のために、しきい値とピクセルの測定が提供され、パターンがデータベースに保存されることを考えると、アセットにはラインパターンマッチング機能があります。さらに、顕微鏡分解能以下のパターン偏差を検出できるマルチリージョンヒストグラムベースの機器も含まれています。さらに欠陥検査をサポートするために、このモデルには、可変照明レベルを提供できるストロベッドLED照明装置が内蔵されており、ユーザーはより高いコントラストを達成することができます。印刷欠陥、エッチング欠陥、パーティクル欠陥など、幅広い欠陥タイプを検出できます。また、内蔵された高性能PCと21インチの大型タッチスクリーンディスプレイを搭載し、インターフェースを簡単に操作できます。さらに、PCは外部データベースやデバイスへのネットワーク接続を提供し、高度なデータ分析とワークフロー制御を提供します。NANOMETRICS NANOLINE 50-2 Mask&Wafer Inspection Unitは、ウェーハの幅広い欠陥の信頼性の高い検出と分析を提供するために設計された自動および高性能マシンです。このツールは非常に正確であり、校正、欠陥検出、および特性評価のためのさまざまな機能を提供します。統合されたPCと大型タッチスクリーンディスプレイは、簡単なユーザー操作に理想的であり、ストロベッドLED照明と傾斜可能な目的は、さまざまなイメージング技術を使用して欠陥を詳細に分析することができます。