中古 NANOMETRICS CTS-102 #9397735 を販売中

NANOMETRICS CTS-102は、手動と自動化された性能の両方でウェーハの品質を測定および特性評価するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。システムは、検査ステージ、PCベースのホストPC、コントローラで構成されています。検査段階は、高精度のファインフォーカス光学ヘッド、回転制御オートフォーカス、および観察用の8 インチLCDモニターで構成されています。これらのコンポーネントに加えて、ユニットにはエアフィルターとクリーンエア関連操作用の圧力レギュレータ、チャンバー用の温度コントローラ、温度キャリブレータ、バックアップ充電器が装備されています。ホストPCはCTS-102の中心であり、測定タスクを完了するために必要なハードウェアとソフトウェアコンポーネントをマシンに提供します。Windows 7または8で動作し、光ヘッド用のデジタル読み出しユニットや外部コントローラなど、いくつかの外部デバイスに接続されています。すべてのコンポーネントは、ホストPCのGUIを介して簡単に操作できます。コントローラは、ツールのパフォーマンスを向上させるために作られています。リアルタイムモニターとコントロールインターフェイスが付属しているため、オペレータはボタンを押して資産全体を制御できます。また、温度、圧力、光学ヘッドスキャンなどのプロセスパラメータに関するフィードバックも提供します。このモデルでは、層の厚さや均一性、表面欠陥、汚染レベルなど、さまざまなパラメータを測定できます。この装置はまた、画像キャプチャ機能を備えており、オペレータは検査プロセス中に撮影された画像に基づいてレポートを生成することができます。プロセス中に生成された画像はJPEG形式で保存され、ユーザーは他の利害関係者と簡単に共有できます。NANOMETRICS CTS-102は、測定タスクに高い精度と精度を提供するため、マスクおよびウェーハ検査にとって重要なツールです。また、ユーザーフレンドリーで、ユーザーは手動入力を最小限に抑えて操作できるだけでなく、データを迅速に分析するために必要なすべての機能を提供します。