中古 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9390470 を販売中

NANOMETRICSキャリパーモザイクは、ナノメートルレベルのマスクとウェーハを分析するために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。これは、従来の光検査システムでは一般的に小さすぎる高密度パターンや特徴を調べるのに特に役立ちます。合理化された光学設計は、高精度のイメージングオプティクスと高度なデータ収集技術を使用して、包括的で自動化されたウェーハ検査システムを作成します。キャリパーモザイクユニットは、10nmの解像度までのウェーハパターンの信頼性と正確な定量分析を提供します。このマシンは、画像光学、CCDカメラ、および高性能コンピューティングプラットフォームで構成されています。その先進的なイメージングオプティクスは、小さな形状の画像透明性を高めるとともに、散乱光が画像結果に与える影響を最小限に抑えるように設計されています。また、クロムマスク、UVマスク、レチクル、不透明ウエハなど幅広い基板検査が可能です。このアセットには、歪みを最小限に抑える高速画像取得モデルや、複数の波長で動作する最先端のレーザーマッピング技術など、これまでにない検査精度を実現する高度な技術が多数搭載されています。パターン認識やぼかし解析などの高度なデータ解析技術により、検査プロセスの品質がさらに向上します。この装置は、2つの画像を比較して、小さなパターンの不一致を検出できるようにするためにも使用できます。ユーザーフレンドリーなシステムインターフェイスは、ウェーハ検査プロセスを直感的に制御し、さまざまな可視化オプションを提供します。グラフィカルディスプレイは検査結果を表示し、同じソフトウェアを使用してパターンのレビュー、検出された欠陥の分析、および詳細なレポートの生成を行うことができます。NANOMETRICSキャリパーモザイクユニットは、フォーカス、ダイシングライン、パターン検出のしきい値など、さまざまなパラメータを自動的に最適化できます。キャリパーモザイクは、ウェーハおよびマスク検査のための包括的なソリューションを提供するように設計されています。高解像度のイメージングと詳細な欠陥検出により、精度、再現性、スループットを保証します。