中古 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9384480 を販売中

NANOMETRICS Caliper Mosaicは、半導体業界の高度なプロセス制御と歩留まり向上をサポートするために、NANOMETRICSによって開発された柔軟で統合された強力なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、自動光学検査とイメージプロセッシング機能の最適化された組み合わせと、画像管理と欠陥解析をサポートする一連のソフトウェアツールを備えています。これにより、ユニットは欠陥を確実に検出および分類することができます。このマシンで使用されるイメージセンサーは、位相位置と伝送画像の両方で迅速かつ低ノイズの読み出しを提供します。ウェーハのバイナリ画像は、顧客定義のマスク画像や製品画像と比較して作成され、3ナノメートルのサイズの特徴を検出することができます。この検査ツールは、優れた被写界深度および高解像度イメージング機能を備えたデュアルビーム共焦点スキャン顕微鏡（DCSM）を備えており、欠陥の正確な特定と特性評価を可能にします。この検査アセットは、X-Y平面で250ナノメートルの精度で高速スキャンを可能にする4軸スキャンステージを利用しています。このモデルの画像処理ソフトウェアには、ウェーハ表面の傷、粒子、欠陥などの非常にかすかな特徴を検出できるアルゴリズムと、さまざまな種類の欠陥を区別するための特徴および欠陥分類アルゴリズムが含まれています。さらに、検査ジョブの設計、設定、実行を簡素化する強力でユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェイスを提供するとともに、欠陥画像の自動詳細解析と特性評価を可能にし、歩留まりの正確な診断と処理を迅速に行うことができます。最終的に、キャリパーモザイクの高解像度イメージング、自動画像処理、直感的なソフトウェアの組み合わせにより、お客様の品質管理と歩留まり要件を確実に満たすことができます。