中古 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383361 を販売中

ID: 9383361
ヴィンテージ: 2011
Overlay control system 2011 vintage.
NANOMETRICSキャリパーモザイクは、さまざまな基板上の微細構造の特徴を測定および分析するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。この先進的な装置は、光学計測を適用して、ナノメートルスケールまでの特徴を正確に測定および検査します。この高精度な機能により、ユーザーはより速く、より正確で信頼性の高い測定を行うことができます。このシステムは、白色光源で基板をスキャンして、最大200nmのピクセルサイズの細線特性のプロファイルを測定することによって機能します。レーザーの72個の個々の位置の配列は、それぞれ3つの波長値を持つ照明を提供します。これにより、ユニットは、単一のスキャン中に最大2500ポイントでフィーチャープロファイルを測定できます。機械が適用する光学計測技術には、3Dイメージングも含まれています。ライン機能検査に加えて、同じ基板上の別々の構造間の膜厚、高さ、ギャップ幅を測定することもできます。すべての測定値はデジタルで保存され、精度が向上します。Caliper Mosaicには強力な画像解析ソフトウェアパッケージも含まれています。このソフトウェアは、複数のスキャンを組み合わせたり、3Dモデルを作成したり、個々のスキャンをステッチして1つのデータセットを形成したりすることができます。精度とリアルタイムイメージングに加えて、このソフトウェアは包括的なデータ分析ツールを提供しており、デバイスのパフォーマンスや欠陥の分離をより深く理解することができます。NANOMETRICSキャリパーモザイクは、ウェーハおよびマスク検査用の強力で信頼性の高いツールです。ナノメートルスケールで機能を正確に測定、分析、定量化することができ、ユーザーは時間のほんの一部でより速く、より正確な意思決定を行うことができます。包括的なイメージングおよび解析機能を備えたこのツールは、複雑なナノ構造デバイスに合わせたソリューションを提供します。
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