中古 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383062 を販売中
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NANOMETRICS Caliper Mosaicは、集積回路マスクおよびウェーハの高分解能イメージングおよび定量測定を提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、独自のアルゴリズムを使用して欠陥を分析し、欠陥の種類、サイズ、位置などの多数のパラメータを検討します。5nmまでの解像度で、接点や線幅などの最小の特徴を識別することができます。さらに、マシンは、開口部、不連続、ショーツ、不整列、およびその他のタイプの欠陥を識別することができます。このツールはモジュラー設計を備えており、さまざまな基板サイズと構成に対応できます。正確で信頼性の高い結果を得るために、マルチレベルのパターン認識および欠陥検出アルゴリズムが適用されます。アセットには、低ノイズイメージングモデルとパターン認識エンジンの2つのコンポーネントがあります。イメージングサブシステムは、高度な光学機器を使用し、50nmまでの構造物の高分解能を提供します。このサブシステムのデジタル信号プロセッサは、正確な画像解析と欠陥認識を提供します。パターン認識エンジンは、柔軟で正確なパターンマッチングを可能にする最先端の技術で構築されています。システムは、ユーザーが作成したパターンだけでなく、検査中にデバイスに見つかる可能性のある自動生成パターンも認識できます。このユニットは、最大2台のスキャナを使用して、1台のダイに複数の欠陥を検出することもできます。キャリパーモザイクは洗練された機能の多くを提供しています。これらには、高速スキャン機能、ズーム画像と測定、および測定チェックのレポートと分析が含まれます。機械はまた生産ラインへの容易な統合のために設計され、ネットワーク接続によって制御することができます。NANOMETRICSキャリパーモザイクは、非常に信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ツールで、低コストで簡単にアップグレードできます。資産の厳格な品質保証プロセスは、すべての製品が顧客満足度の最高水準に準拠することを保証します。このモデルは、集積回路マスクとウェーハが生産に必要な品質仕様と規制を満たしていることを保証します。
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