中古 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9378724 を販売中
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NANOMETRICSキャリパーモザイクは、マイクロエレクトロニクス製造業界にとって非常に正確な重要寸法と物理的欠陥検出を提供する強力なマスクおよびウェハ検査システムです。最先端の光学計測とレーザー計測を採用し、ウェーハとマスクの製造工程ごとにスループットと品質管理を最適化します。キャリパーモザイクは、高度な光学設計とレーザースキャン技術を使用して、マスクレベル、基板ステップ、オーバーレイエラー、および画質パラメータのプロファイルを正確に測定します。可視光または近赤外線光の波長を使用して、ウェーハまたはマスクの表面およびサブサーフェスの両方の特徴を捕捉し、微妙な欠陥や不適合をすばやく検出します。撮影した画像は、ダークフィールド顕微鏡、干渉顕微鏡、または両方の組み合わせなどの技術を使用して分析されます。NANOMETRICSキャリパーモザイクは、線と空間、臨界寸法、フィルムスタック厚、レジストカバレッジ、オーバーレイエラー、臨界面積計算、および表面粗さなど、さまざまな物理的特徴を分析および測定することができます。また、ウェーハやマスクの表面と表面の両方にピット、傷、剥離、汚れ、汚れなどの欠陥を検出して測定することもできます。このシステムは、大量生産に理想的なソリューションとなるさまざまな機能も提供しています。複数の主要なマスクアライナー、ステッパー、プリンターと統合することができ、幅広い業界のメーカーが簡単に利用できます。キャリパーモザイクは高度に自動化されており、すべての設定とモニターはタッチスクリーンインターフェイスを介して制御されています。また、不正な人員アクセスから保護するためのセキュリティプロトコルのいくつかの層が含まれています。NANOMETRICSキャリパーモザイクは、拡大を続けるマイクロエレクトロニクス業界の製造製品の品質と信頼性を確保するための非常に信頼性の高いツールです。精度と精度に基づいた設計、自動化された機能、主要なデバイスや機器との相互運用性により、高水準の欠陥検出を保証するのに理想的な選択肢です。
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