中古 NANOMETRICS Caliper Elan #9390468 を販売中

NANOMETRICS Caliper Elanは、マスクおよびウェーハ検査用の信頼性の高い堅牢なプラットフォームです。高精度の計測と3Dイメージング機能を組み合わせ、最高品質のマスクとウェーハを保証します。本装置は、高度なイメージング技術を活用して欠陥構造を解析し、ウェーハのアライメント操作を迅速かつ正確に行います。キャリパーエランは、高解像度でマスクやウェーハの欠陥を効率的に見つけて分類するように設計されています。高解像度の画像キャプチャシステム、高速ステージ、および欠陥を検出および分類する高度な画像処理アルゴリズムを備えています。このユニットは、2。5ミクロンの解像度で画像をキャプチャすることができます。さらに、各ウェーハの複数の画像を同時にキャプチャすることができ、より迅速かつ効率的な検査プロセスを可能にします。このマシンはまた、さまざまな欠陥の特性評価と分析を提供しています。パーティクル、ピット、ショーツ、パターン内のパーティクル、アンダーフィルからの欠陥、ラインショート、ライン間のコンタクト、高密度の構造を分類できます。さらに、マスクやウェーハの品質に影響を与える可能性のあるあらゆる種類の欠陥を簡単に検出するための3D特性評価および測定機能を提供します。NANOMETRICS Caliper Elanは、異なるウェーハ間の正確で再現性のあるアライメント用に設計された自動ウェーハアライメントおよび位置ツールも備えています。この機能は、特に正確な欠陥検査を確実にするために、精密なアライメントが不可欠であるため、大きなウェーハやパネルにとって特に有用です。アセットにより、X-Y平面または垂直Z軸に沿ってウェーハを整列させ、角度精度と再現性を+/-3分以内に実現します。キャリパーエランは、NANOMETRICS製造装置と完全に統合されており、他のウェーハ処理装置、データ収集およびアライメントシステムとのシームレスな接続を可能にします。さらに、モデルのナビゲーションと使用を簡素化するグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。全体として、NANOMETRICS Caliper Elanは、高解像度のイメージングと欠陥特性を提供し、高品質のマスクとウェーハを保証するオールインワンマスクおよびウェーハ検査装置です。それは非常に信頼性が高く、堅牢で、検査プロセスの精度と効率を高めることに専念しています。