中古 NANOMETRICS Caliper Elan #9378705 を販売中

NANOMETRICSキャリパーエランは、生産グレードのパターン検査に使用される最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。レチクル、マスク欠陥、ウェハ欠陥、プリント回路基板、ナノスケールのリソグラフィ欠陥など、幅広い基板上のパターンを迅速かつ正確に検出できるように設計されています。このシステムは、パターンおよび欠陥検出機能の広い範囲を提供し、さまざまな生産プロセスにおける潜在的な問題を迅速に特定するために使用できます。このユニットは、高度な光学、イメージング、および電気センシング技術を使用して、対象領域を正確にスキャン、画像、および検査します。機械の光学系は、レーザー照明、LED照明、および導波路技術を採用して、正確な欠陥検出とイメージングを保証します。イメージングツールは、広い視野を提供する複数のカメラで構成されており、アセットは高解像度で非常に詳細な画像をキャプチャすることができます。さらに、このモデルは、パターン特性、線幅、重要寸法、およびその他のキーパラメータを測定するための自動光学計測技術を使用することができます。機器の電気的側面では、オープンサーキットや短絡欠陥などの生産における電気的な問題を検出するために、さまざまな電気センシング技術を使用し、漏電電流などの一般的な電気特性を決定することもできます。これらの異なるセンシング技術と高度なパターン認識アルゴリズムを組み合わせて、ターゲット基板上のパターンを解析します。これにより、潜在的なマスク欠陥、ウェーハ欠陥、またはその他のプロセス関連の問題を迅速に特定できます。最後に、このマシンは、計測やカラーマッピングなど、さまざまなフォーマットで高速で高解像度の結果を提供することができます。Caliper Elanはまた、さまざまなソフトウェアとハードウェアオプションを提供しているため、ユーザーはツールをニーズに合わせて調整できます。NANOMETRICS Caliper Elanは、最高のイメージング技術と電気技術を組み合わせることで、ターゲットパターンに関する高精度で詳細な情報を提供します。これにより、生産グレードのパターン検査に最適です。