中古 NANOMETRICS Caliper Elan #9298745 を販売中

NANOMETRICS Caliper Elanは、半導体マスクおよびウェーハ上の欠陥の存在、位置、サイズを正確に測定および記録するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、自動光学顕微鏡ユニットと精密測定ステージを利用しています。この光学顕微鏡は、低消費電力の対物レンズと、イメージング用の高出力ステレオ倍率、および赤外線や紫外線の波長を含むマルチスペクトルイメージングを提供するように設計されています。精密測定ステージは、超低慣性運動、クイックセトルタイム、優れた運動忠実性を提供します。このマシンは、マスクまたはウェーハのすべての生産層をこれまで以上に詳細に検査することができます。洗練されたアルゴリズムと自動測定を使用して、任意のサイズの欠陥を検出および分類し、その場所とサイズを決定することができます。これにより、欠陥を特定して対処できるだけでなく、より大きな問題のある欠陥がソースに追跡されることが保証されます。Caliper Elanは、高度な3Dおよびクリティカルな寸法（CD）の監視機能も備えています。これにより、複雑な層の構造や構造の重要な寸法、重要な個々の寸法の異常、または地形のずれや形状の違いをすばやく理解して検査することができます。さらに、このツールはサイドウォール角度、ダイサイズ、透明度の部品検査を行うことができ、迅速かつ正確な診断を可能にします。最後に、NANOMETRICS Caliper Elanアセットは、プログラム可能なテンプレートとカスタマイズ可能なビューを備えたユーザーフレンドリーなGUIを提供します。直感的なプラットフォームにより、簡単なデータ収集と効率的なレポート作成が可能です。統計的なレビューとレポート機能が組み込まれているため、ユーザーは標準に準拠したウェーハとマスクマップを生成でき、歩留まりの信頼性と故障分析をサポートできます。全体として、Caliper Elanは高度で高効率なマスクおよびウェーハ検査モデルです。これまでにない範囲のイメージングと分析機能を提供し、高品質の製品を迅速かつ正確に生産する必要がある半導体製造者にとって貴重なツールです。