中古 NANOMETRICS Caliper Elan #293825603 を販売中
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ID: 293825603
ウェーハサイズ: 8"-12"
Overlay metrology system, 8"-12"
Wafer handler
Load station
Wafer stage
Wafer chuck
Electronic rack
Board.
NANOMETRICSキャリパーは、半導体業界向けの高精度マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高解像度のイメージングと分析を提供して、重要なマスクおよびウェーハ製造プロセスのプロセス管理と品質保証をより良いものにするように設計されています。このユニットは、高度に統合された光学顕微鏡マシンと組み合わせて、自動認識および分析エンジンを使用しています。自動化されたツールは、マスクのさまざまな機能や欠陥を認識して分析し、マスクからウェーハへのアライメントを行うことができます。アセットの顕微鏡要素は、最大10ミクロンの解像度で高度なCCDベースのイメージング機能を提供します。このモデルは高度に自動化されており、生産前と最終生産中に自動的にマスクを検査するために使用することができます。また、CDSEMやLSAツールなどの他の検査機器と組み合わせて使用することで、マスクとウェハの品質をより完全に把握することができます。この機器は、Windowsベースのオペレーティングシステム上で動作し、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。このユニットには強力なデータベースとレポート機能が含まれており、ユーザーはすべてのプロセスと検査データを簡単に記録、保存、アクセスできます。キャリパーはまた、お客様のさまざまな寸法や要件に合わせて機械をカスタマイズする柔軟性を提供します。このツールは、既存のカスタムオートメーションシステムと統合するために設計されています。このアセットは、さまざまなモデル機能とパラメータを提供しており、ユーザーは検査プロセスを特定の要件に合わせて調整することができます。顕微鏡から他のシステムや他の利害関係者に画像を送るためにも使用できます。要するに、NANOMETRICSキャリパーは、強力で自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置を提供し、お客様がマスクおよびウェーハ製造のプロセスをよりよく理解し、制御できるように設計されています。システムは完全に自動化され、高度にカスタマイズ可能で、優れた解像度と、プロセス制御と品質保証のための幅広い機能とパラメータを提供します。
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