中古 NANOMETRICS Caliper Elan #293625779 を販売中

NANOMETRICSキャリパーエランは、高度なマスクとウェーハ検査装置です。これは、さまざまな製品設計基準に対して迅速にリソグラフィプロセスの性能をテストし、監視するように設計されています。このシステムは、自動イメージング、クイックアクセスデータベース、強力な画像解析ツール、高度なデータ分析機能を組み合わせています。ウェーハやマスクの印刷性や表面トポロジーの分析に使用されます。ウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検出するように設計されています。このユニットは、高コントラストイメージングとマルチスペクトルイメージングの両方をサポートしているため、線幅、クリティカル寸法、オーバーレイエラー、サイドウォール角度など、さまざまなプロセス変数を監視するのに理想的です。また、測定における高精度・高精度を提供します。このマシンには、さまざまなインフラストラクチャと統合する強力なキャリパーソフトウェアプラットフォームも含まれています。このプラットフォームを使用すると、タスクの設定、整列、制御、およびリアルタイムデータの視覚化が可能になります。さらに、単一および複数パターンの検査、手動および自動レビューのサポート、および幅広い画像およびマスク形式との互換性をサポートしています。このツールは、PreScanウェーハとマスクプリスキャンウィザードの助けを借りて自動化でき、ユーザーは検査に必要な重要なプロセスパラメータとアライメントを決定できます。Caliper ElanのActiva Alignment Assetは、ユーザーがマスクをウエハーのアクティブ領域に正確に配置するのに役立ちます。このモデルはまた、生産開始前に潜在的なエラーを検出するのに役立つ印刷プロセスのシミュレーションをサポートしています。この機器は、さまざまな形式でレポートを生成するための強力なレポート機能も提供しています。これにより、ユーザーは個々のプロセスのパフォーマンスを追跡し、プロセスのパフォーマンスを以前の結果と比較することができます。さらに、このシステムは、ユーザーがグローバルかつ個別のレベルでプロセスを監視および分析することができます。NANOMETRICSキャリパーエランマスクおよびウェーハ検査ユニットは、正確で正確なウェーハおよびマスク試験結果を提供するように設計されています。自動化された画像処理、マルチスペクトルイメージング機能、強力なレポート機能、自動化された監視機能により、リソグラフィープロセスの監視とパフォーマンス向上に最適なツールです。