中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT RPM 2000 #9219508 を販売中
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販売された
ID: 9219508
ヴィンテージ: 2007
PL Mapping system
A-532nm Laser (Port A):
Laser type: JDS UNIPHASE 532 nm DSPP
Output wavelength (nm): 532 nm
Head and PSU / Controller
Spot size on RPM entry slit: 1.3
Output power:
Direct from laser: 55.2 mW
Sample: 41.8 mw
Power stability: <1% Over 2 hours
2007 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000は、半導体業界向けに設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクとウェーハ表面パターンの両方の特徴を迅速かつ正確に測定できるため、プロセス能力と製品品質の向上が可能です。アクセントRPM 2000は、高速、優れた光学、長距離検出範囲を備え、多種多様な自動検査作業に最適です。BIO-RAD RPM 2000は、共焦点光学ユニットをベースとした3軸非接触精密イメージングおよびアライメントシステムです。本機は、最大10ナノメートルの画素解像度でウェーハやマスク表面パターンの画像を取得する高解像度CCDカメラを搭載しています。画像を取得しながら、画像内の参照パターンをキャプチャすることで、ウェーハとマスクを正確に調整します。RPM 2000には画像処理機能が内蔵されており、傷、粒子、汚染物質、摩耗エッジなどの微妙な欠陥パターンをすばやく検出できます。アセットの先進的な光学およびエンコーディングシステムにより、デュアル波長およびマルチリフレクションデータを測定し、高精度の機能測定を行うことができます。また、NANOMETRICS RPM 2000は、ノッチング、スリット、ブリッジ、ピッチなど、高い再現性と精度を備えた幅広いマイクロフィーチャーを正確に測定できます。NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000の自動運転により、オペレータの労力を削減し、検査コストを最小限に抑えながら高品質な結果を得ることができます。ACCENT RPM 2000は、収集されたデータの出力フォーマットを多種多様に提供し、モデルを既存のデータ管理環境に簡単に統合できます。装置の強力なソフトウェアパッケージにより、ユーザーはデータ収集からデータ処理および分析までの検査プロセス全体を迅速かつ効率的に容易にすることができます。BIO-RAD RPM 2000は、様々な基板や材料の微細な特徴や欠陥を正確かつ信頼性の高い高速解析する高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。使いやすいインターフェイスと自動化された操作により、RPM 2000は迅速かつ正確にデータを提供することができ、ユーザーはプロセス能力と品質管理の大幅なレベルを達成することができます。
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