中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT RPM 2000 #9163329 を販売中
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販売された
ID: 9163329
ヴィンテージ: 1999
Rapid photoluminescence mapping system (PL)
Laser system - 532nm laser
RPM Data acquisition version: 2.86
Operating system: Windows XP
Light vacuum for wafer chuck
Single phase, AC 100V-240V, 400VA
1999 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000は、精度と精度の最も厳しい基準であるトミートを設計した先進的なマスクおよびウェハ検査装置です。高度な多層構造を利用した高解像度イメージングと高感度分析により、極めて精密な測定が可能です。強力な光学システムとリアルタイムのサンプルモーションコントロールにより、アクセントRPM 2000は高品質のパフォーマンスを実現します。BIO-RAD RPM 2000の厳格な設計と構築により、フォトマスクや半導体ウェーハの欠陥や変動を測定する際に最高レベルの精度が得られます。この光学設計は、1:1より大きな開口部と、垂直および斜めの光路を組み合わせているため、サンプル全体に最大限のカバレッジを与えることができます。完全自動化されたユニットには、独立したモーションコントロールと高速サンプルリポジショニングを保証するサンプルチャックとステージが装備されています。NANOMETRICS RPM 2000の強力なイメージングマシンには、最大6倍の画像倍率を持つ明るく超高解像度のCCDカメラが搭載されています。これにより、サブミクロン欠陥の検出と分類が可能になり、サンプル表面の拡大画像をデジタル形式で生成します。RPM 2000のソフトウェアコンポーネントには、パターン比較と欠陥解析が含まれているため、ツールは最小の矛盾をフラグ付けして定量化することができます。NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000は非常に柔軟で、テストとレーザーアプリケーションの両方に幅広いアクセサリーオプションがあります。また、あらゆる環境で信頼性の高い動作を保証するために、極端な温度および湿度試験などのさまざまな環境試験オプションを備えています。さらに、ACCENT RPM 2000のクリーンルーム・コンプライアンス(HEPA濾過)により、クリーンルーム環境が一貫しています。全体として、BIO-RAD RPM 2000は強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査資産であり、精度と精度の最も厳しい基準を満たすために使用できます。堅牢な光学設計、リアルタイムのサンプルモーション制御、幅広い環境試験オプションにより、半導体業界および関連分野にとって貴重なツールとなります。
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