中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q8 #9229790 を販売中
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ID: 9229790
ウェーハサイズ: 8"
System, 8"
Control unit
Fully robotic with random access
Pick and place
(2) Cassette user programmable wafer handlers
X / Y Stage controlled:
Toothed belts to frictionless ball screws & linear roller bearings
PEEK FPAS Pre-aligner:
Non-edge contact
Flat and notch detection
Z-Stage movement: Linear direct drive DC torque motor
Interfacing hardware upgrade with AGV
Wafer cassette audit capability
JFDI Optics module
DC Servo motor alignment
Motorized pinhole
Xe Arc lamp illumination
FPAS Linear arm
Transfer arm
Stage top plate
26 Slot flipper upgraded kit.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q8は、フォトリソグラフィで使用されるエッチングされたマスクやウェーハを検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクやウェーハの高倍率イメージングが可能な8インチウェーハサイズ対応チャンバーで構築されています。デュアルユニット設計により、1つのチャンバーに2つの完全なシステムを可能にします。Fab 2は、光学的に正しい無色の目的を持ち、歪みを低減し、利用可能な最高の解像度と最高のコントラストから高品質の画像を作成します。ACENT Quaestor Q8の光学系は、歪みのないあらゆるタイプのマスクやウエハのサイズ、形状、材料、向きの特徴を最大限に引き出すために最適化されています。5軸ハイブリッド変換/回転ステージを備えており、無制限の動きが可能で、オーバーサイズのウエハや非常に複雑な形状のウエハを検査できます。このマシンは、LEDやハロゲンなどのさまざまな光源で広い領域の画像をキャプチャするダルサ4メガピクセルのモノクロカメラのペアが装備されています。また、カメラは、ユーザーが検出した異常や欠陥を測定、文書化、レポートできる機能豊富なソフトウェアをサポートしています。BIO-RAD Quaestor Q8には、特定のマスクやウエハを分析する際の性能と精度を最大限に高める高度なハードウェアおよびソフトウェアツールが搭載されています。自動画像取得、製品アライメント、欠陥識別、分類を可能にするように設計されています。これは、欠落/追加された機能の数、欠陥解析の絞り込み、誤検出の削減などのデータをセグメント化、比較、分析するための強力なアルゴリズムを組み込んでいます。また、パターンマッチング機能により、異なるマスクまたはウェーハ間のパターンを瞬時に検出および比較できるほか、断面で画像を表示して解析を強化することができます。全体として、NANOMETRICS Quaestor Q8は、マスクおよびウェーハ分析のための包括的な検査モデルを提供します。その高度な光学系は、最高品質と最も正確なイメージングを保証するように設計されていますが、高度なハードウェアおよびソフトウェア機器は、高度なオートメーションと精度を保証します。これらの機能により、ユーザーはあらゆるタイプのマスクまたはウェーハで異常を迅速かつ簡単に検出および分類できます。
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