中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9390851 を販売中
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NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200iは、直径200mmまでのフリーマスクおよびウェーハの欠陥を検査するために設計された高精度マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な独自の光学設計により、優れたイメージング機能と最高の空間分解能を提供します。さらに、共焦点画像モードでは最大0。7ミクロン、共焦点スキャンヘッドでは0。45ミクロンの解像度でサブミクロンのイメージングが可能です。ACCENT Q200iには、さまざまなタイプのマスク機能やウェーハを検査するために設計された高解像度イメージングツールが多数あります。これらには以下が含まれます。マスクと接触アライナー、ウェーハアライメント、臨界寸法測定(CDM)ツール、光学および電子ビーム画像倍率、および疑わしいデバイス分析は、いくつかの名前を付けます。オートフォーカスカメラを使用することで、光学および電子ビームイメージングの両方を利用して微小欠陥をキャプチャすることができます。このアセットには、高度なビジョンベースの欠陥レビューツールと、サブピクセル欠陥検出が可能な画像処理エンジンを提供する10メガピクセルのCMOSカメラが含まれています。また、データインテグリティと比較ツールが内蔵されているため、欠陥のないウェーハを本番環境まで維持することができます。この装置は、レーザスクライブやフィルムダイシングシステムなどの他の機器と統合して、正確で再現可能な欠陥検出を保証することができます。BIO-RAD Q200iには、完全に自動化されたシャーシ、高度な画像解析、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイス、リアルタイムデータ表示機能、データロギングなど、さまざまな最先端の機能と利点があり、ユーザーはマスクやウェーハからの欠陥情報を簡単にナビゲートしてジョブを比較できます。全体として、NANOMETRICS Q200iは、比類のない画像解析機能、精度、再現性を提供する優れたマスクおよびウェーハ検査システムです。高精度な欠陥検出機能により、高品質の欠陥フリーマスクやウェーハの製造に最適です。
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