中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9235491 を販売中

ID: 9235491
ヴィンテージ: 2002
Overlay measurement system, 8" EFEM AC Rack (3) Cartons GENMARK Robot Blade type: PE Handler type: ARM Per-aligner Mini environment (4) Wires + Ground AC Distribution box No transformer No UPS No heat exchanger / Chiller No pump Frequency: 50 / 60 Hz Voltage: 208 VAC, 3 Phase Full load amp: 20 A Interrupting capacity: 14 kA 2002 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200iは、高性能マスクおよびウェーハ検査装置の周辺機器です。高度な半導体生産の製造プロセスを改善するために特別に設計されており、精密マスクとウェハースキャンのための優れた画質とアライメント精度を提供します。このシステムには、マスクおよびウェーハサンプルの正確で再現可能な位置決めとアライメントのための信頼性の高い結晶サンプルステージと、統合された画像触覚欠陥検出メカニズムが含まれています。ACCENT Q200iは、アクセントレベルの光学技術と光学レベルイメージング技術を活用して、現在の超薄型半導体構造における検出困難な欠陥を画像化します。その効果的な視野は、マスクエリア全体を包含する点まで拡大され、1 μ mの面積の詳細で拡大されたビューを提供します。従来の光学的手法よりも解像度の高い高品質の欠陥画像を生成し、わずかな保護層でも欠陥を特定することができます。BIO-RAD Q200iの高度なコンピューティング機能により、サブナノ秒イメージングと超精密画像解析が可能です。スキャン中のアライメントの滑りを検出し、損傷が発生する前にスキャンを停止するために、マシンは複数の画像を比較することができます。この機能は、最終製品の最高品質を確保するのに役立ちます。Q200iは、マスクおよびウェーハイメージングにおいて卓越した透明性、再現性、信頼性を提供します。既存の自動化装置と統合して効率を向上させることができ、その高度な光学およびイメージング機能は、最高品質のウェーハおよびデバイスの生産に優れた利点を提供します。
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