中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9389798 を販売中

NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300
ID: 9389798
Overlay measurement system.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300は、ウェーハ基板上の光学欠陥の高分解能測定を行うために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、0。2ミクロンまでの精度・精度の測定が可能であり、高度な半導体デバイス製造におけるサブミクロン要件に適しています。最大12MPの高速・高解像度カメラを搭載し、ウェーハの画像を正確にキャプチャし、高解像度の波形解析を行うことができます。このツールは、パターニングエラー、粒子汚染、IC強化などの欠陥の可視化と識別を可能にする高度なソフトウェアでも設計されています。直感的なキャリブレーションツールとユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスにより、使いやすく操作できます。このアセットには、非常に洗練された光学測定プラットフォームが含まれており、全視野検査モデルと広視野検査光学装置が完全に自動化されており、ラボ環境と生産環境の両方でスループットが向上しています。この検査システムは、自動化された環境およびシェーディングキャリブレーションによる温度安定動作も提供します。また、広視野画像プラットフォームと高効率なインプリント/ボケ補正を搭載し、精度と再現性を向上させています。この機械の他の特徴はユーザーがパターンの中の特徴の位置を定めることを可能にするエッジモジュールを含んでいます;真空チャックと取り外し可能なチャックで、最大400ミクロンの測定を可能にします。そして磁気スキャンは非磁気ウェーハの高精度の測定を可能にしました。さらに、このツールは専用のソフトウェアと統合されており、幅広い分析ツールといくつかのデータ管理機能を提供します。検査された画像とインラインイメージの両方に対応する手動および自動欠陥解析機能、および自動アライメントおよびライン追跡機能が含まれています。また、寸法測定のためのライブ3Dビューと統合されたジェノメトリー機能も提供します。アクセントキャリパーQ300は、3D集積回路(3DIC)製造、MEMS、医療機器、IoTなど、さまざまな分野の高度な半導体デバイスメーカーに最適です。堅牢な設計と可変測定速度により、この資産は、半導体デバイスメーカーのニーズに優れた費用対効果の高いソリューションを提供します。
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