中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9294762 を販売中

NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300は、高度で包括的なマスクおよびウェーハ検査装置です。さまざまな電子機器の製造に使用される重要なリソグラフィックマスクおよびウエハコンポーネントの正確で自動化された一貫した検査を提供します。システムは、LIT （Lens Inspection Table）、 LIT上のレンズを制御するステッピングユニット、光学ステーションで構成されています。 （OS） 3つの独立した光学系、プログラマブルアライメントモジュラー拡大鏡を含む （PAMM）顕微鏡、高解像度デジタルイメージングカメラを搭載した検査性能ステーション、ロボットアーム マンドレルローディング、近接センシング、部品の精密アライメントに最適化された（RA）。LITは、プラットフォーム上のすべての光学部品が検査サイクル全体で同じ位置に保たれるように、表面に調整可能でロックされた公差が埋め込まれた精密輸送テーブルです。これにより、レンズアライメントパラメータの違いによる歪みに関係なく、均一な結果を得ることができます。OSはマスクおよびウェーハ部品の光学輸送を担当しています。それはいろいろな拡大によって最高の決断を提供するスペースおよび電力効率が良い光学設計から成っています。PAMM、検査パフォーマンスステーションの3つの光学システムを内蔵しており、同時検査とより正確なポイント測定が可能です。PAMMは、高度なセンシングおよび画像解析機能を備えた顕微鏡です。自動化されたフィーチャー抽出アルゴリズムは、線幅、ピッチ、または測定する必要のあるその他の重要な寸法などのマスクおよびウェハフィーチャーを識別および分析します。検査パフォーマンスステーションは、高解像度のデジタルイメージングカメラを使用して、検査プロセス中にマスクとウェーハコンポーネントの画像をキャプチャして保存します。このカメラは、マスクとウェーハ表面全体の正確な均一性を保証し、均一度の測定を迅速かつ正確に行うことができます。RAは、ウェーハおよびマスクコンポーネントのローディングおよび自動位置決めに使用されるインテリジェントロボットアームで、可能な限り正確な測定が可能です。また、このツールにより、ウェーハを1ステップで処理することができ、プロセス速度と効率が向上します。ACCENT CALIPER Q300は、マスクとウェーハの検査に関しては、高度で効果的な機器です。PAMM顕微鏡、高解像度デジタルカメラ、ロボットアームと組み合わせた精密光学システムは、電子機器の製造に使用される最も複雑な部品の一貫した検査結果を提供します。