中古 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9137174 を販売中
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ID: 9137174
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Overlay measurement system, 12"
Robotic pick and place wafer transport with (2) FOUPs
Optics module with variable magnification
High resolution X,Y,Z and Theta stage
Programmable bandwidth illumination system
Automated pattern recognition
Vibration isolation table
LENUX GUI / Analysis package
File sharing: LAN
Bulk gases:
Compressed air: 0.1 SCFM at 84 PSI
Thru: 1/4" Push fit
Rear connection
Regulator
Isolation valve
Gauge
Process vacuum: 2.1 SCFM at 800 mbar
Thru: 5/16" Push fit
Rear connection
Regulator
Isolation valve
Gauge
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz, 20 A, 5-wires
2003 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300は、ハイエンド半導体ファブ、パッケージ基板、およびMEMS検査用に設計された高解像度マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、ハイスループット動作とともに、これまでにない欠陥に対する感度を提供します。300mmの視野、ウェーハの自動検出、9段階倍率を実現しています。ACCENT CALIPER Q300は革新的な光学設計要素を使用し、優れた精度と優れた信号対ノイズ比(SNR)を維持します。1nm分解能のレーザー干渉計、高感度ピクセル判別アセット、優れた3Dイメージング用の高速全方位イメージングセンサーを備えています。このモデルは、最先端のハードウェアと高度なソフトウェア機能を組み合わせて、検査と欠陥解析を自動化します。ソフトウェアは、自動的に欠陥を検出してマークし、統計データを収集し、結果を管理することができます。また、プリスキャンやウェハマッピングも可能です。このソフトウェアはリアルタイムソフトウェアライブラリと統合されており、ユーザーは欠陥トレンド分析とリアルタイムデータ比較を実行できます。この装置はまた、独自のビジョンベースの基板マッピングを提供しています。この機能は、測定および欠陥解析の前にマッピングを必要とする基板(シリコンウェーハなど)用に設計されています。BIO-RAD CALIPER Q300にはいくつかの機能があり、プロセス制御に最適です。その内蔵イメージングシステムは、毎秒数百のスキャン画像をキャプチャすることができ、そのスポット設定ユニットは、ユーザーが迅速かつ簡単にウェーハ上の特定のポイントを検査し、測定することができます。さらに、このマシンは、穴と環状検査、プロファイルスキャン、カスタム減算、および柔軟な欠陥検出ルーチンなど、さまざまな測定ルーチンをサポートしています。また、高度な欠陥絶縁アルゴリズムと高速顕微鏡アライメントも備えています。この資産には優れたサポート機能もあります。ユーザーフレンドリーなGUIは、ユーザーワークフローと時間管理を改善し、さまざまな言語をサポートします。CALIPER Q300の包括的なカスタマーサポートは、トラブルシューティング、セットアップ支援、およびスペアパーツを提供します。このモデルはまた、緊急時には完全なカスタマーサービスレベルと24時間年中無休のサポートを提供します。NANOMETRICS CALIPER Q300は、最先端の半導体製造のための高度なマスクおよびウェハ検査装置です。革新的な光学設計、高感度ピクセル判別システム、強力なソフトウェアツールを組み込んでいます。ハイエンドのファブ、パッケージ基板、MEMSのプロセス制御に最適です。NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300は、優れた顧客サービスとサポートを提供しながら、正確で迅速な結果を提供する信頼性の高い高性能ユニットです。
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