中古 NANOMETRICS 9010 #9213384 を販売中

ID: 9213384
ヴィンテージ: 2004
Thickness measurement system 2004 vintage.
NANOMETRICS 9010は、現在ますます複雑化する半導体製造および研究プロセスの欠陥を迅速に自動認識するために設計された高性能マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、自動ソフトウェアアルゴリズムを備えた自動ウェーハ検査ユニットを使用して、生産ウェーハを迅速かつ正確にスキャンおよび分析します。9010は、傷、スルーホール、汚染物質、印刷欠陥などのさまざまな欠陥や異常を認識し、サイクルタイム、チップ収率、およびプロセス制御を改善することができます。このマシンは、データ取得速度と精度の面で非常に効率的であり、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスとさまざまなオートメーションツールを備えています。最も厳しい検査要件を満たすように設計されており、高度なイメージング機能と生産的なスキャン技術を組み合わせています。このツールは、並列構成で配置されたデジタルカメラとセンサーの配列で構成されています。カメラは高解像度の光学フィルターに接続され、1um以上の精度で赤外線、紫外線、電子放出などの非表示のパラメータをキャプチャします。検査プロセスでは、各ウェーハの画像を複数の場所と角度でキャプチャし、標準データと比較します。NANOMETRICS 9010には高度なパターン認識技術が搭載されており、極めて暗い欠陥も検出できます。これにより、手動による監視が不要になり、さらに生産工程が開始される前にエラーが排除されます。その結果、検出されたすべての欠陥がキャッチされ、迅速かつ効率的に解決され、歩留まりを最適化し、時間とリソースを節約します。結論として、9010マスクおよびウェハ検査モデルは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと強力なイメージング機能を提供し、欠陥検出を自動化してチップの歩留まりを改善し、コストを削減します。
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